[实用新型]一种超高真空旋转驱动器

说明书

本实用新型公开了一种超高真空旋转驱动器，包括腔体和分别连接在其两端的前端盖和后端盖，所述前端盖上转动插接有输入轴，输入轴位于腔体内的一端连接有转盘，转盘的另一侧偏心连接有连接轴的一端。本实用新型专利可以完全替代磁流体密封，并且避免了磁流体密封容易产生的失效、泄漏、密封难以控制等问题；该旋转驱动器通过波纹管密封的方式，该种密封方式较为有效，而且可以有效避免用磁流体等方式密封所采用的高精度零部件而产生的加工困难。

技术领域

本实用新型涉及真空设备技术领域，尤其涉及一种超高真空旋转驱动器。

背景技术

真空设备的运用越来越广泛，得到人们的广泛欢迎，可是依然存在着较多不完美的地方，如何在高密封性能状态下传递动力仍然是一个难题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种超高真空旋转驱动器。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种超高真空旋转驱动器，包括腔体和分别连接在其两端的前端盖和后端盖，所述前端盖上转动插接有输入轴，输入轴位于腔体内的一端连接有转盘，转盘的另一侧偏心连接有连接轴的一端，连接轴的另一端转动连接有输出轴的一端，连接轴上转动套接有第一法兰，输出轴上套接有第二法兰，第二法兰与第一法兰通过初级焊接波纹管连接，连接轴位于初级焊接波纹管内，第二法兰与后端盖连接，所述输出轴远离连接轴的一端分别套接有输出法兰和第三法兰，第三法兰与输出轴转动套接，第三法兰通过次级焊接波纹管与后端盖连接。

优选地，所述输入轴和前端盖之间设有第一密封圈，第三法兰和输出轴之间设有第二密封圈。

优选地，所述接轴上套接有第一轴承，第一轴承的外圈与第一法兰连接。

优选地，所述输出轴上套接有第二轴承，第二轴承的外圈与第二法兰连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型专利可以完全替代磁流体密封，并且避免了磁流体密封容易产生的失效、泄漏、密封难以控制等问题；

2、该旋转驱动器通过波纹管密封的方式，该种密封方式较为有效，而且可以有效避免用磁流体等方式密封所采用的高精度零部件而产生的加工困难。

附图说明

图1为本实用新型提出的结构示意图。

图中：输入轴1、前端盖2、第一法兰3、初级焊接波纹管4、后端盖5、次级焊接波纹管6、输出法兰7、腔体8、主动轴9、第二法兰10、第三法兰11。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1，一种超高真空旋转驱动器，包括腔体8和分别连接在其两端的前端盖2和后端盖5，前端盖2上转动插接有输入轴1，输入轴1位于腔体8内的一端连接有转盘，转盘的另一侧偏心连接有连接轴9的一端，连接轴9的另一端转动连接有输出轴的一端，连接轴9上转动套接有第一法兰3，输出轴上套接有第二法兰10，第二法兰10与第一法兰3通过初级焊接波纹管4连接，连接轴9位于初级焊接波纹管4内，第二法兰10与后端盖5连接，输出轴远离连接轴9的一端分别套接有输出法兰7和第三法兰11，第三法兰11与输出轴转动套接，第三法兰11通过次级焊接波纹管6与后端盖5连接。

输入轴1和前端盖2之间设有第一密封圈，第三法兰11和输出轴之间设有第二密封圈，提高密封性。

接轴9上套接有第一轴承，第一轴承的外圈与第一法兰3连接，输出轴上套接有第二轴承，第二轴承的外圈与第二法兰10连接，减小摩擦。