[实用新型]一种超高真空旋转驱动器

权利要求书

1.一种超高真空旋转驱动器，包括腔体(8)和分别连接在其两端的前端盖(2)和后端盖(5)，其特征在于，所述前端盖(2)上转动插接有输入轴(1)，输入轴(1)位于腔体(8)内的一端连接有转盘，转盘的另一侧偏心连接有连接轴(9)的一端，连接轴(9)的另一端转动连接有输出轴的一端，连接轴(9)上转动套接有第一法兰(3)，输出轴上套接有第二法兰(10)，第二法兰(10)与第一法兰(3)通过初级焊接波纹管(4)连接，连接轴(9)位于初级焊接波纹管(4)内，第二法兰(10)与后端盖(5)连接，所述输出轴远离连接轴(9)的一端分别套接有输出法兰(7)和第三法兰(11)，第三法兰(11)与输出轴转动套接，第三法兰(11)通过次级焊接波纹管(6)与后端盖(5)连接。

2.根据权利要求1所述的一种超高真空旋转驱动器，其特征在于，所述输入轴(1)和前端盖(2)之间设有第一密封圈，第三法兰(11)和输出轴之间设有第二密封圈。

3.根据权利要求1所述的一种超高真空旋转驱动器，其特征在于，所述接轴(9)上套接有第一轴承，第一轴承的外圈与第一法兰(3)连接。

4.根据权利要求1所述的一种超高真空旋转驱动器，其特征在于，所述输出轴上套接有第二轴承，第二轴承的外圈与第二法兰(10)连接。