[实用新型]蒸镀掩模和蒸镀掩模装置

权利要求书

1.一种蒸镀掩模，其特征在于，具有：

掩模，其具有形成有第1贯通孔的镀敷层；以及

支承体，其与所述掩模接合，并形成有在俯视时与所述第1贯通孔重叠的第2贯通孔，

所述支承体的厚度为0.20mm以上且2.0mm以下。

2.根据权利要求1所述的蒸镀掩模，其特征在于，

所述支承体具有与所述掩模接合的第1层、和与所述第1层接合的第2层，

所述第2贯通孔贯通所述第1层和所述第2层。

3.根据权利要求2所述的蒸镀掩模，其特征在于，

所述第1层和所述第2层通过粘接剂、焊料或焊接而相互接合。

4.根据权利要求2所述的蒸镀掩模，其特征在于，

从侧方通过金属覆盖所述第1层与所述第2层的接合面。

5.根据权利要求3所述的蒸镀掩模，其特征在于，

从侧方通过金属覆盖所述第1层与所述第2层的接合面。

6.根据权利要求4所述的蒸镀掩模，其特征在于，

通过镀敷处理形成所述金属。

7.根据权利要求5所述的蒸镀掩模，其特征在于，

通过镀敷处理形成所述金属。

8.根据权利要求2～7中的任意一项所述的蒸镀掩模，其特征在于，

所述支承体还具有与所述第2层接合的第3层。

9.根据权利要求8所述的蒸镀掩模，其特征在于，

所述第2层和所述第3层通过粘接剂、焊料或焊接而相互接合。

10.根据权利要求8所述的蒸镀掩模，其特征在于，

从侧方通过金属覆盖所述第2层与所述第3层的接合面。

11.根据权利要求9所述的蒸镀掩模，其特征在于，

从侧方通过金属覆盖所述第2层与所述第3层的接合面。

12.根据权利要求10所述的蒸镀掩模，其特征在于，

通过镀敷处理形成所述金属。

13.根据权利要求1～7中的任意一项所述的蒸镀掩模，其特征在于，

所述支承体包含剪切模量为50GPa以上且65GPa以下的材料。

14.一种蒸镀掩模装置，其特征在于，具有：

权利要求1～13中的任意一项所述的蒸镀掩模；以及

框架，其与所述蒸镀掩模的所述支承体接合，并设置有在俯视时与所述第2贯通孔重叠的开口。