[实用新型]一种用于PECVD设备的阀门密封圈挡块

说明书

本实用新型公开了一种用于PECVD设备的阀门密封圈挡块，涉及到阀门领域，包括挡块本体，所述挡块本体的表面中部开设有通孔，所述通孔的内部活动连接有螺栓，所述螺栓表面固定连接有外螺纹，所述挡块本体的边缘处开设有活动槽，所述活动槽的内部设有推动柱，所述挡块本体的一侧设有橡胶垫。本实用新型通过推动柱、活动槽、滑槽和固定柱之间的配合设置，能够方便拆装阀门密封圈挡块，方便更换密封圈，节约了时间，提高了工作效率，避免了因长时间不更换密封圈的导致阀门密封性不好和泄漏的问题，通过在密封圈的表面设置硅胶层，能够延长密封圈的使用寿命，避免了因没有硅胶层容易让密封圈氧化频繁更换的问题，节约了成本，提高了工作效率。

技术领域

本实用新型涉及阀门技术领域，特别涉及一种用于PECVD设备的阀门密封圈挡块。

背景技术

在PLC晶圆生产中，PECVD(即等离子体增强化学沉积)设备作为第一道也是最重要的一道沉积芯层工序，由于PECVD设备属于高温真空设备，工艺过程中阀门上密封圈由于高温而氧化的情况极其严重，所以一种用于PECVD设备的阀门密封圈挡块非常重要。

目前，市面上现有的PECVD设备的阀门密封圈挡块，拆装不方便，不容易更换密封圈，长时间不更换密封圈容易造成密封效果不好导致泄漏，现有的PECVD设备的阀门密封圈挡块没有抗氧化层，密封圈容易氧化。

因此，发明一种用于PECVD设备的阀门密封圈挡块来解决上述问题很有必要。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于PECVD设备的阀门密封圈挡块，以解决上述背景技术中提出的现有的PECVD设备的阀门密封圈挡块拆装不方便，不容易更换密封圈，没有抗氧化成，密封圈容易氧化的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于PECVD设备的阀门密封圈挡块，包括挡块本体，所述挡块本体的表面中部开设有通孔，所述通孔的内部活动连接有螺栓，所述螺栓表面固定连接有外螺纹，所述挡块本体的边缘处开设有活动槽，所述活动槽的内部设有推动柱，所述挡块本体的一侧设有橡胶垫，所述橡胶垫的内部开设有螺纹孔，所述螺纹孔的内部固定连接有内螺纹，所述挡块本体通过螺栓和螺纹孔与橡胶垫螺纹连接，所述橡胶垫的一侧固定连接有密封圈，所述密封圈的一侧固定连接有硅胶层，所述挡块本体的内部开设有滑槽，所述滑槽的内部设有固定柱，所述推动柱的一端与固定柱固定连接，所述固定柱的一端内部开设有弹簧槽，所述弹簧槽的内部固定连接有弹簧，所述弹簧的一端与滑槽固定连接，所述固定柱的另一端内部开设有移动孔，所述移动孔的内部设有滑轮，所述滑轮的中部固定连接有销轴，所述移动孔的内壁开设有固定槽，所述销轴的两端均通过固定槽与固定柱活动连接。

可选的，所述通孔与螺纹孔相对应，所述通孔和螺纹孔均有多个，多个所述通孔和螺纹孔均呈环形排列。

所述通孔与螺栓相适配，所述螺栓的一端直径大于通孔的直径，所述螺纹孔与螺栓相适配。

所述活动槽与推动柱相适配，所述固定柱与滑槽相适配。

所述活动槽有两个，两个所述活动槽呈对称排列，所述活动槽与滑槽相连通。

所述固定柱通过滑槽与挡块本体活动连接，所述固定柱一端呈半球型。

所述固定槽有两个，两个所述固定槽呈对称排列。

本实用新型的技术效果和优点：

1、本实用新型通过推动柱、活动槽、滑槽和固定柱之间的配合设置，能够方便拆装阀门密封圈挡块，方便更换密封圈，节约了时间，提高了工作效率，避免了因长时间不更换密封圈的导致阀门密封性不好和泄漏的问题。

2、本实用新型通过在密封圈的表面设置硅胶层，能够延长密封圈的使用寿命，避免了因没有硅胶层容易让密封圈氧化频繁更换的问题，节约了成本，提高了工作效率。

附图说明