[实用新型]一种用于PECVD设备的阀门密封圈挡块

权利要求书

1.一种用于PECVD设备的阀门密封圈挡块，包括挡块本体(1)，其特征在于：所述挡块本体(1)的表面中部开设有通孔(3)，所述通孔(3)的内部活动连接有螺栓(2)，所述螺栓(2)表面固定连接有外螺纹，所述挡块本体(1)的边缘处开设有活动槽(5)，所述活动槽(5)的内部设有推动柱(4)，所述挡块本体(1)的一侧设有橡胶垫(10)，所述橡胶垫(10)的内部开设有螺纹孔(13)，所述螺纹孔(13)的内部固定连接有内螺纹，所述挡块本体(1)通过螺栓(2)和螺纹孔(13)与橡胶垫(10)螺纹连接，所述橡胶垫(10)的一侧固定连接有密封圈(12)，所述密封圈(12)的一侧固定连接有硅胶层(11)，所述挡块本体(1)的内部开设有滑槽(6)，所述滑槽(6)的内部设有固定柱(7)，所述推动柱(4)的一端与固定柱(7)固定连接，所述固定柱(7)的一端内部开设有弹簧槽(16)，所述弹簧槽(16)的内部固定连接有弹簧(17)，所述弹簧(17)的一端与滑槽(6)固定连接，所述固定柱(7)的另一端内部开设有移动孔(15)，所述移动孔(15)的内部设有滑轮(9)，所述滑轮(9)的中部固定连接有销轴(8)，所述移动孔(15)的内壁开设有固定槽(14)，所述销轴(8)的两端均通过固定槽(14)与固定柱(7)活动连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于PECVD设备的阀门密封圈挡块，其特征在于：

所述通孔(3)与螺纹孔(13)相对应，所述通孔(3)和螺纹孔(13)均有多个，多个所述通孔(3)和螺纹孔(13)均呈环形排列。

3.根据权利要求1所述的一种用于PECVD设备的阀门密封圈挡块，其特征在于：

所述通孔(3)与螺栓(2)相适配，所述螺栓(2)的一端直径大于通孔(3)的直径，所述螺纹孔(13)与螺栓(2)相适配。

4.根据权利要求1所述的一种用于PECVD设备的阀门密封圈挡块，其特征在于：

所述活动槽(5)与推动柱(4)相适配，所述固定柱(7)与滑槽(6)相适配。

5.根据权利要求1所述的一种用于PECVD设备的阀门密封圈挡块，其特征在于：

所述活动槽(5)有两个，两个所述活动槽(5)呈对称排列，所述活动槽(5)与滑槽(6)相连通。

6.根据权利要求1所述的一种用于PECVD设备的阀门密封圈挡块，其特征在于：

所述固定柱(7)通过滑槽(6)与挡块本体(1)活动连接，所述固定柱(7)一端呈半球型。

7.根据权利要求1所述的一种用于PECVD设备的阀门密封圈挡块，其特征在于：

所述固定槽(14)有两个，两个所述固定槽(14)呈对称排列。