[实用新型]激光器腔面镀膜用陪条装置

说明书

本实用新型提供了一种激光器腔面镀膜用陪条装置，用于将两个激光器正条间隔开，该陪条装置包括陪条本体，所述陪条本体沿陪条长度方向延伸的四条棱角均设有倒角，所述陪条本体未倒角部分的宽度小于正条的宽度。本实用新型陪条本体沿陪条长度方向延伸的四条棱角均设有倒角，陪条设计宽度可以与正条宽度一致，且陪条的中心与正条的中心允许有一定的高度差，降低了对摆条设备的要求，本实用新型设计精巧，使用简单，解决了目前镀膜时边缘蒸发被阻挡导致的镀膜不均匀的问题及导致的半导体激光器期间报废的问题，提高了产出良率和可靠性，同时也改善了膜层粘连所带来的分离难，减少了半导体激光器腔面薄膜污染，损失，以及正条断裂的问题。

技术领域

本实用新型涉及激光器腔面镀膜技术领域，尤其涉及一种激光器腔面镀膜用陪条装置。

背景技术

目前在InP衬底上制做半导体激光器工艺中，需要在腔面的背光面镀反射膜，出光面镀增透膜，镀膜工艺是影响激光器机器良率和可靠性的核心工艺。目前的镀膜工艺在Bar条（正条）摆放的过程中，都会使用到陪条。陪条和产品Bar条（正条）在夹具中交替摆放，陪条宽度比正条宽度窄10-50um，固定后再进镀膜机进行镀膜，陪条和正条都是长方体的长条。

上述的陪条和正条的摆放方式，实际在镀膜过程中仍然存在一些问题，会影响镀膜的良率与性能。主要原因是实际在正条和陪条摆放到夹具过程中，目前使用的摆条方式是正条与陪条都以夹具中心位置为准，通过陪条与正条的宽度尺寸差，让正条两端凸出来达到我们想要的理想效果，但实际上设备精度总是会有些误差，导致存在有一个端面陪条比正条凸出还要多，另一个面就会出现严重的膜溢出问题

如图1所示，当出现因为摆条设备摆放是陪条突出超过正条时，会在陪条和正条接触处（见图1圈出的位置），因为镀膜蒸发角度问题，导致正条的腔面接触处出现镀膜膜层不均匀(实际厚度与设计厚度有差异)，这种靠近正条端面靠近上下面边缘的镀膜不均匀会影响激光器器件出光功率等，阈值电流等关键性能，导致芯片报废。此外，因为陪条比正条突出原因，在镀膜过程中，陪条和正条接触处因为蒸发后膜层整体覆盖，容易出现陪条和正条出现粘连，导致下条时正条与陪条分开时断裂，污染等现象，影响良率。其次，目前使用的陪条，一般都是一次使用就废弃了，而做陪条的成本实际上是很高的，因此存在成本高的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种激光器腔面镀膜用陪条装置，旨在用于解决现有的激光器腔面镀膜用陪条装置在摆条时容易出现陪条比正条突出导致镀膜不均匀以及陪条和正条出现粘连的问题。

本实用新型是这样实现的：

本实用新型提供一种激光器腔面镀膜用陪条装置，用于将两个激光器正条间隔开，该陪条装置包括陪条本体，所述陪条本体沿陪条长度方向延伸的四条棱角均设有倒角，所述陪条本体未倒角部分的宽度小于正条的宽度。

进一步地，所述倒角为直线倒角。

进一步地，所述倒角的角度为130-140度，倒角深度为10-30μm。

进一步地，所述倒角为弧形倒角。

进一步地，所述陪条本体的宽度与正条的宽度一致。

进一步地，所述陪条本体的长度为30-40mm。

进一步地，所述陪条本体的厚度为 100-200μm。

进一步地，所述陪条本体采用金属材质制成。

进一步地，所述陪条本体采用不锈钢材质制成。

进一步地，所述陪条本体所采用材料的粗糙度不大于0.1μm。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：