[实用新型]一种石英炉管新型高效对接和抛光装置有效
申请号: | 201921163485.0 | 申请日: | 2019-07-24 |
公开(公告)号: | CN210633469U | 公开(公告)日: | 2020-05-29 |
发明(设计)人: | 邱志荣 | 申请(专利权)人: | 上海菲利华石创科技有限公司 |
主分类号: | B24B29/08 | 分类号: | B24B29/08;B24B41/06;C03B23/207;C03B20/00 |
代理公司: | 上海梵恒知识产权代理事务所(普通合伙) 31357 | 代理人: | 王裕 |
地址: | 201801 上海市嘉定区马陆镇*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 石英 炉管 新型 高效 对接 抛光 装置 | ||
1.一种石英炉管新型高效对接和抛光装置,包括车床(1)、加长型内石英枪(2)、加长型外石英枪(3)、石英炉管本体(4)和石英法兰(5),其特征在于:所述车床(1)上安装有连接箱(6)和驱动箱(7),所述连接箱(6)的顶端设有旋转箱(8),所述驱动箱(7)的顶端均设有主轴箱(9),所述旋转箱(8)和所述主轴箱(9)的内侧面均安装有三爪卡盘(10),所述三爪卡盘(10)外表面均安装有三个沿圆周均匀设置的凹槽滑道(11),每一个所述凹槽滑道(11)内壁均通过螺栓固定有加长型卡夹(12),且所述加长型卡夹(12)用于对石英炉管本体(4)及石英法兰(5)进行夹持固定;所述车床(1)中部还滑动连接有支撑座(13),所述支撑座(13)上通过枪架(14)固定有所述加长型外石英枪(3),所述加长型外石英枪(3)包括两根关于所述石英炉管本体(4)对称设置的弧形枪管(301),且所述弧形枪管(301)上均匀设置有若干紫铜喷嘴(302),所述加长型内石英枪(2)的中心位于所述主轴箱(9)的轴心线上。
2.根据权利要求1所述的一种石英炉管新型高效对接和抛光装置,其特征在于:所述石英法兰(5)设置于所述石英炉管本体(4)的左端,且所述石英炉管本体(4)和所述石英法兰(5)为一体化结构。
3.根据权利要求1所述的一种石英炉管新型高效对接和抛光装置,其特征在于:所述加长型内石英枪(2)和所述加长型外石英枪(3)均与外部的氢氧管道(15)相连通,对所述石英炉管本体(4)及所述石英法兰(5)进行加工对接时,需调整所述氢氧管道(15)内部的氢气压力为0.95MPa,氧气压力为0.9MPa,氢气流量为150~250m3/h,氧气流量为60~100m3/h;对所述石英炉管本体(4)进行抛光时,需调整所述氢氧管道(15)内部的氢气压力0.95MPa,氧气压力0.9MPa,氢气流量50~100m3/h,氧气流量为20~34m3/h。
4.根据权利要求1所述的一种石英炉管新型高效对接和抛光装置,其特征在于:所述加长型内石英枪(2)外部连通的氢氧管道(15)由所述旋转箱(8)的左侧穿入并由右侧穿出。
5.根据权利要求1所述的一种石英炉管新型高效对接和抛光装置,其特征在于:所述驱动箱(7)内部设有驱动电机,所述主轴箱(9)内部设有主轴和传动机构,所述驱动电机通过传动机构能带动主轴进行旋转,所述主轴与所述三爪卡盘(10)之间为固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种石英炉管新型高效对接和抛光装置,其特征在于:所述加长型卡夹(12)的表面固定有橡胶垫(16),且所述橡胶垫(16)由耐高温、耐腐蚀性橡胶材料制成。
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