[实用新型]一种具有散热装置的电路板曝光机有效

专利信息
申请号: 201921162121.0 申请日: 2019-07-23
公开(公告)号: CN210222481U 公开(公告)日: 2020-03-31
发明(设计)人: 隋树华 申请(专利权)人: 廊坊市新航源机电设备有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 代理人: 郭栋梁
地址: 065000 河北*** 国省代码: 河北;13
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摘要:
搜索关键词: 一种 具有 散热 装置 电路板 曝光
【说明书】:

实用新型公开了一种具有散热装置的电路板曝光机,包括机体,机体的内侧设置有搁置仓,搁置仓的内侧安装有曝光箱,曝光箱的上端内侧设置有降温槽,降温槽的一端固定连接有冷却管,冷却管的一端连接有冷却箱,降温槽的另一端连接有进水管,进水管的一端连接有循环泵,循环泵通过水管连接有冷却箱,安装架的下端安装有曝光灯。该种具有散热装置的电路板曝光机,曝光箱表面热量通过降温槽内的降温液进行冷却散热,通过换气扇将曝光箱内的热气抽出,空气会从进气口沿搁置仓与曝光箱之间形成的通道经百叶窗进入曝光箱内部进行换气,通过散热孔对安装架吸收的热量进行散热,以此达到对曝光灯产生的热量进行降温。

技术领域

本实用新型涉及曝光机技术领域,具体为一种具有散热装置的电路板曝光机。

背景技术

曝光机是集电子光学、电气、机械、真空、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备,70年代以后广泛应用于半导体集成电路制造业,是在计算机的控制下,利用聚焦电子束对有机聚合物(通常称为电子抗蚀剂或光刻胶)进行曝光,它常用于半导体制造,光电电子,平板,射频微波,衍射光学,微机电系统,凹凸或覆晶设备和其他要求精细印制领域。

现有曝光机因为曝光需要都比较密封,但是曝光灯使用一段时间后会产生高温导致机体内部及机体内部的空气温度上升,因此需要对曝光灯进行适量的降温以保持曝光灯的良好工作状态且现有的曝光机曝光灯一般安装在曝光机的内部,在更换曝光灯时非常不便。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种具有散热装置的电路板曝光机,以解决曝光机散热的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种具有散热装置的电路板曝光机,包括机体,所述机体的内侧设置有搁置仓,所述搁置仓的内侧安装有曝光箱,所述曝光箱的上端内侧设置有降温槽,所述降温槽的一端固定连接有冷却管,所述冷却管的一端连接有冷却箱,所述降温槽的另一端连接有进水管,所述进水管的一端连接有循环泵,所述循环泵通过水管连接有冷却箱,所述机体的上端设置有插接口,所述曝光箱的上端设置有安装口,所述安装口的插接口的内侧插接有安装架,所述安装架的下端安装有曝光灯。

优选的,所述机体的表面搁置仓的内壁设置有进气口,进气口的内侧设置有第一防尘网。

优选的,所述曝光箱的表面设置有百叶窗,所述曝光箱的表面设置有换气管,换气管的一端穿过搁置仓及机体的内侧安装有第二防尘网,换气管的内侧安装有换气扇。

优选的,所述安装架的上端表面设置有散热孔。

优选的,所述曝光箱的下端内侧设置有透明玻璃。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:该种具有散热装置的电路板曝光机,第一,曝光箱表面的热量通过降温槽内的降温液进行冷却散热,通过换气扇将曝光箱内的热气抽出,空气会从进气口沿搁置仓与曝光箱之间形成的通道经百叶窗进入曝光箱内部进行换气,且通过安装架表面的散热孔对安装架吸收的热量进行散热,以此达到了对曝光灯产生的热量进行降温;第二,安装架通过插接口插入安装口的内侧利用自身向下的重力进行定位,需要更换曝光灯时,只需沿安装口及插接口向上即可将安装架提出,进行更换曝光灯。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构剖面图;

图2为本实用新型的整体结构示意图;

图3为本实用新型的整体结构横切面图;

图4为本实用新型的电路图。

图中:1机体、11搁置仓、12进气口、13第一防尘网、14插接口、2曝光箱、21降温槽、22安装口、23百叶窗、24透明玻璃、3换气管、31换气扇、32第二防尘网、4冷却箱、41循环泵、42冷却管、43进水管、5安装架、51曝光灯、52散热孔。

具体实施方式

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