[实用新型]一种实时氦气回收装置

权利要求书

1.一种实时氦气回收装置，其特征在于，包括：

用于与冷却管(11)连通并收集所述冷却管(11)排出的废料氦气的混合气体收集系统；

用于对所述废料氦气进行初步提纯的一级膜分离机构；

用于将所述一级膜分离机构提纯之后的一级氦气进行二级提纯的二级膜分离机构；

用于将所述二级膜分离机构提纯后的提纯氦气进行收集并实时向所述冷却管(11)提供所述提纯氦气的氦气回馈系统；

用于控制所述混合气体收集系统、所述一级膜分离机构、所述二级膜分离机构以及所述氦气回馈系统动作的控制系统；

所述冷却管(11)、所述混合气体收集系统、所述一级膜分离机构、所述二级膜分离机构、所述氦气回馈系统首尾依次连接，且均与所述控制系统连接，以形成闭环系统。

2.根据权利要求1所述的实时氦气回收装置，其特征在于，所述混合气体收集系统设置有用于收集所述废料氦气的收集工装(1)以及用于调节所述收集工装(1)位置的支架；

所述收集工装(1)与所述支架连接，所述收集工装(1)的进气端与所述冷却管(11)连通，所述收集工装(1)与所述控制系统连接。

3.根据权利要求2所述的实时氦气回收装置，其特征在于，所述混合气体收集系统还包括用于对所述收集工装(1)收集的所述废料氦气进行干燥除水、除油和初步过滤的过滤器(4)；

所述过滤器(4)的排气端与所述一级膜分离机构连通，所述过滤器(4)与所述控制系统连接。

4.根据权利要求3所述的实时氦气回收装置，其特征在于，所述混合气体收集系统还包括用于实时监测所述废料氦气进气流量的第一质量流量控制计(2)、用于检测所述废料氦气的浓度的第一氦气浓度检测仪(12)以及用于将所述收集工装(1)中的所述废料氦气收集进所述一级膜分离机构前端的收集真空泵(3)；

所述第一质量流量控制计(2)的进气端通过软管与所述收集工装(1)连通、排气端通过软管与所述收集真空泵(3)的进气端连通，所述第一氦气浓度检测仪(12)设置于所述第一质量流量控制计(2)与所述收集真空泵(3)连通的管道上，所述真空泵的排气端与所述过滤器(4)的进气端连通；

所述第一质量流量控制计(2)、所述收集真空泵(3)、所述第一氦气浓度检测仪(12)均与所述控制系统连接。

5.根据权利要求1-4任一项所述的实时氦气回收装置，其特征在于，所述一级膜分离机构包括用于对所述混合气体收集系统中的所述废料氦气进行一级提纯的一级分离膜(5)、用于收集所述一级分离膜(5)提纯之后的所述一级氦气的缓冲罐(6)以及用于排出所述一级分离膜(5)提纯过程中所产生的一级其它气体的第一排气阀(18)；

所述一级分离膜(5)的进气口与所述混合气体收集系统连通、用于排出所述一级氦气的第一出气口与所述缓冲罐(6)连通、用于排出所述一级其它气体的第二出气口与所述第一排气阀(18)连通；

所述一级分离膜(5)、所述缓冲罐(6)、所述第一排气阀(18)均与所述控制系统连接。

6.根据权利要求5所述的实时氦气回收装置，其特征在于，所述一级分离膜(5)的进气端设置有用于控制所述一级分离膜(5)入口压力的一级入口压力变送器(13)；

所述一级入口压力变送器(13)设置于所述一级膜分离与所述混合气体收集系统连通的管路上；

所述一级入口压力变送器(13)与所述控制系统连接。

7.根据权利要求5所述的实时氦气回收装置，其特征在于，所述二级膜分离机构包括用于对所述一级氦气进行二级提纯的二级分离膜(8)以及用于排出所述二级分离膜(8)提纯过程中所产生的二级其它气体的第二排气阀(17)；

所述二级分离膜(8)的进气口与所述缓冲罐(6)的排气端连通、用于排出所述提纯氦气的第三出气口与所述氦气回馈系统连通、用于排出所述二级其它气体的第四出气口与所述第二排气阀(17)连通；

所述二级分离膜(8)、所述第二排气阀(17)均与所述控制系统连接。