[实用新型]晶圆平坦化设备晶圆传送机构有效
| 申请号： | 201920962773.6 | 申请日： | 2019-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN210524806U | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 谭金辉;徐海强;夏俊东;康雷雷 | 申请（专利权）人： | 吉姆西半导体科技（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B24B37/27;H01L21/677 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214194 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 平坦 设备 传送 机构 | ||
【权利要求书】：
1.晶圆平坦化设备晶圆传送机构，其特征是包括晶圆传送机构本体(9)，晶圆传送机构本体(9)安装在晶圆装载卸载平台(11)和晶圆传送中转平台(12)外侧的主机架(10)上，晶圆传送机构本体(9)的运行轨迹为往返晶圆装载卸载平台(11)与晶圆传送中转平台(12)。
2.如权利要求1所述的晶圆平坦化设备晶圆传送机构，其特征是所述的晶圆传送机构本体(9)包括步进电机(1)、第一同步轮(2)、第二同步轮(3)、安装板(6)和传送手臂(8)，其中安装板(6)一端设步进电机(1)，步进电机(1)连接第一同步轮(2)，第二同步轮(3)设置在安装板(6)另一端，第一同步轮(2)和第二同步轮(3)上挂设同步带(7)，同步带(7)上连接有传送手臂(8)。
3.如权利要求2所述的晶圆平坦化设备晶圆传送机构，其特征是所述的传送手臂(8)上设气缸或电缸(4)，气缸或电缸(4)输出端连接真空吸盘(5)，真空吸盘(5)外接真空产生单元。
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