[实用新型]磁控溅射卷绕镀膜机阴极固定改进结构

说明书

本实用新型公开了一种磁控溅射卷绕镀膜机阴极固定改进结构，包括屏蔽罩、磁铁和靶材，磁铁与屏蔽罩通过若干个带滚牙螺帽紧固固定，带滚牙螺帽从屏蔽罩底部向上打入并延伸至磁铁中部，带滚牙螺帽外部设有滚牙、内部设有内螺纹，靶材设于屏蔽罩内且位于磁铁上，靶材与磁铁通过若干个紧固螺杆固定，紧固螺杆数量与带滚牙螺帽一致，紧固螺杆从靶材顶部向下拧入并延伸至带滚牙螺帽内，紧固螺杆底部的外螺纹与带滚牙螺帽内部的内螺纹完全匹配；屏蔽罩与磁铁通过带滚牙螺帽紧固，滚牙产生较大摩擦力拆卸更换时屏蔽罩不易松动脱落，无需全部拆下，更换简单效率高，省时省力，劳动强度小人工成本低，不易碰伤砸伤安全隐患小。

技术领域

本实用新型属于镀膜设备辅助件领域，特别涉及一种操作简单简捷、省时省力的磁控溅射卷绕镀膜机阴极固定改进结构。

背景技术

磁控溅射卷绕镀膜机的阴极包括屏蔽罩、磁铁和靶材，在实际使用时不同的膜用到不同的靶材，因此需要进行靶材更换，现有的阴极固定是屏蔽罩与磁铁通过光面螺帽与螺栓固定，在更换靶材时拧开螺栓屏蔽罩会产生松动脱落，为了防止屏蔽罩松动脱落损坏，在靶材更换时要把三者全部拆下来，这种全部拆下的方式可以满足一定的使用要求，但也存在较大缺陷，屏蔽罩和磁铁都是非常笨重的，拆下非常麻烦，需要多个工人配合，费时费力，劳动强度大，人工成本高，更换效率低，易碰伤砸伤存在较大安全隐患。

本实用新型要解决的技术问题是提供一种屏蔽罩不易松动脱落不需拆下、更换简单效率高、省时省力、劳动强度小人工成本低、不易碰伤砸伤安全隐患小的磁控溅射卷绕镀膜机阴极固定改进结构。

实用新型内容

为解决上述现有技术屏蔽罩易松动脱落需拆下、拆下麻烦不便、费时费力、劳动强度大人工成本高、更换效率低、易碰伤砸伤存在较大安全隐患等问题，本实用新型采用如下技术方案：

本实用新型提供一种磁控溅射卷绕镀膜机阴极固定改进结构，包括屏蔽罩、磁铁和靶材，所述屏蔽罩底部两侧对称分别设有固定螺杆，所述屏蔽罩通过固定螺杆固定在磁控溅射卷绕镀膜机的安装板上，所述磁铁设置在屏蔽罩内且通过若干个带滚牙螺帽紧固固定，所述带滚牙螺帽从屏蔽罩底部向上打入并延伸至磁铁中部，所述带滚牙螺帽外部设有滚牙、内部设有内螺纹，所述靶材设于屏蔽罩内且位于磁铁上，所述靶材与磁铁通过若干个紧固螺杆固定，所述紧固螺杆数量与带滚牙螺帽一致，所述紧固螺杆从靶材顶部向下拧入并延伸至带滚牙螺帽内，所述紧固螺杆底部的外螺纹与带滚牙螺帽内部的内螺纹完全匹配。

作为对本实用新型的改进，所述带滚牙螺帽是四个以上的且为偶数个。

本实用新型的有益效果在于：屏蔽罩与磁铁通过带滚牙螺帽紧固，滚牙产生较大摩擦力拆卸更换时屏蔽罩不易松动脱落，无需全部拆下，更换简单效率高，省时省力，劳动强度小人工成本低，不易碰伤砸伤安全隐患小。

附图说明

图1为本实用新型一种实施例的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图详细说明本实用新型的优选实施例。

请参阅图1，一种磁控溅射卷绕镀膜机阴极固定改进结构，包括屏蔽罩1、磁铁2和靶材3，所述屏蔽罩1底部两侧对称分别设有固定螺杆11，所述屏蔽罩1通过固定螺杆11固定在磁控溅射卷绕镀膜机的安装板上，所述磁铁2设置在屏蔽罩1内且通过若干个带滚牙螺帽21紧固固定，所述带滚牙螺帽21从屏蔽罩1底部向上打入并延伸至磁铁2中部，所述带滚牙螺帽21外部设有滚牙、内部设有内螺纹，所述靶材3设于屏蔽罩1内且位于磁铁2上，所述靶材3与磁铁2通过若干个紧固螺杆31固定，所述紧固螺杆31数量与带滚牙螺帽21一致，所述紧固螺杆31从靶材3顶部向下拧入并延伸至带滚牙螺帽21内，所述紧固螺杆31底部的外螺纹与带滚牙螺帽21内部的内螺纹完全匹配，滚牙会产生较大的摩擦力，这样屏蔽罩就不易松动脱落，直接更换靶材即可，操作简单便捷。

其中，所述带滚牙螺帽21是四个以上的且为偶数个。