[实用新型]磁控溅射卷绕镀膜机阴极固定改进结构有效
| 申请号： | 201920945719.0 | 申请日： | 2019-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN210176942U | 公开（公告）日： | 2020-03-24 |
| 发明（设计）人： | 丁磊;李晓哲 | 申请（专利权）人： | 厦门玉通光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市海*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 磁控溅射 卷绕 镀膜 阴极 固定 改进 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种磁控溅射卷绕镀膜机阴极固定改进结构，其特征在于：包括屏蔽罩（1）、磁铁（2）和靶材（3），所述屏蔽罩（1）底部两侧对称分别设有固定螺杆（11），所述屏蔽罩（1）通过固定螺杆（11）固定在磁控溅射卷绕镀膜机的安装板上，所述磁铁（2）设置在屏蔽罩（1）内且通过若干个带滚牙螺帽（21）紧固固定，所述带滚牙螺帽（21）从屏蔽罩（1）底部向上打入并延伸至磁铁（2）中部，所述带滚牙螺帽（21）外部设有滚牙、内部设有内螺纹，所述靶材（3）设于屏蔽罩（1）内且位于磁铁（2）上，所述靶材（3）与磁铁（2）通过若干个紧固螺杆（31）固定，所述紧固螺杆（31）数量与带滚牙螺帽（21）一致，所述紧固螺杆（31）从靶材（3）顶部向下拧入并延伸至带滚牙螺帽（21）内，所述紧固螺杆（31）底部的外螺纹与带滚牙螺帽（21）内部的内螺纹完全匹配。
2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射卷绕镀膜机阴极固定改进结构，其特征在于：所述带滚牙螺帽（21）是四个以上的且为偶数个。
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