[实用新型]一种真空样品台

说明书

一种真空样品台，包括真空腔、样品放置台、伸缩杆、磁耦合驱动装置和真空泵系统，其特征在于，所述伸缩杆套接于所述磁耦合驱动装置内，所述磁耦合驱动装置于所述真空腔的侧壁密封连接，所述伸缩杆远离所述磁耦合驱动装置的一端设置有所述样品放置台，远离所述磁耦合驱动装置一端的所述真空腔侧壁设有可开闭的密封门，所述伸缩杆通过所述磁耦合驱动装置的控制伸缩和旋转，并且可通过所述密封门伸出所述真空腔，所述真空腔顶部设有观察窗，所述抽空装置设于所述真空腔侧壁。

技术领域

一种真空样品台。

背景技术

传统的样品台一般都固定安装于真空中，不便于样品的取放。另外，一些实验还需要将样品上的电极外连进行原位电学测量，需要一定的操作空间。

实用新型内容

为解决现有技术中的问题，本实用新型提供以下技术方案：一种真空样品台，包括真空腔、样品放置台、伸缩杆、磁耦合驱动装置和抽空装置，其特征在于，所述伸缩杆套接于所述磁耦合驱动装置内，所述磁耦合驱动装置于所述真空腔的侧壁密封连接，所述伸缩杆远离所述磁耦合驱动装置的一端设置有所述样品放置台，远离所述磁耦合驱动装置一端的所述真空腔侧壁设有可开闭的密封门，所述伸缩杆通过所述磁耦合驱动装置的控制伸缩和旋转，并且可通过所述密封门伸出所述真空腔，所述真空腔顶部设有观察窗，所述抽空装置设于所述真空腔侧壁。

进一步地，所述磁耦合驱动装置包括磁耦合电机和连接管，所述伸缩杆套接并贯穿所述连接管，所述连接管于所述伸缩杆接触面密封处理。

进一步地，所述真空腔为非透明遮光的304不锈钢材质。

进一步地，所述观察窗与所述真空腔的接触面设有密封垫圈，所述观察窗为透明pvc材质，并且所述观察窗设有可开合的遮光盖。

进一步地，所述样品放置台设有加热装置和温度传感器，所述加热装置和温度传感器通过所述伸缩杆的空腔走线连接外部电源，并且所述温度传感器通过所述伸缩杆的空腔连接外部温度监控装置。

本实用新型的有益效果在于：可将真空腔内的样品通过样品放置台和伸缩杆伸出真空腔，使得有巨大的空间对样品进行操作，比如说电极连接，使用显微镜对样品进行观察，以及对样品进行固定等。

附图说明

图1为本实用新型的俯视结构示意图；

附图标记说明：真空腔1、样品放置台2、伸缩杆3、磁耦合驱动装置4、抽空装置5、密封门11、观察窗12、加热装置21、温度传感器22、磁耦合电机41、连接管42。

具体实施方式

下面将结合附图，为本实用新型作进一步解释，本实用新型提供以下技术方案：一种真空样品台，包括真空腔1、样品放置台2、伸缩杆3、磁耦合驱动装置4和抽空装置5，其特征在于，所述伸缩杆3套接于所述磁耦合驱动装置4内，所述磁耦合驱动装置4于所述真空腔1的侧壁密封连接，所述伸缩杆3远离所述磁耦合驱动装置4的一端设置有所述样品放置台2，远离所述磁耦合驱动装置4一端的所述真空腔1侧壁设有可开闭的密封门11，所述伸缩杆3通过所述磁耦合驱动装置4的控制伸缩和旋转，并且可通过所述密封门11伸出所述真空腔1，所述真空腔1顶部设有观察窗12，所述抽空装置5设于所述真空腔1侧壁。

进一步地，所述磁耦合驱动装置4包括磁耦合电机41和连接管42，所述伸缩杆3套接并贯穿所述连接管42，所述连接管42于所述伸缩杆3接触面密封处理。

进一步地，所述真空腔1为非透明遮光的304不锈钢材质。

进一步地，所述观察窗12与所述真空腔1的接触面设有密封垫圈，所述观察窗为标准真空观察窗，并且所述观察窗12设有可开合的遮光盖13。