[实用新型]一种真空样品台

权利要求书

1.一种真空样品台，包括真空腔（1）、样品放置台（2）、伸缩杆（3）、磁耦合驱动装置（4）和抽空装置（5），其特征在于，所述伸缩杆（3）套接于所述磁耦合驱动装置（4）内，所述磁耦合驱动装置（4）与所述真空腔（1）的侧壁密封连接，所述伸缩杆（3）远离所述磁耦合驱动装置（4）的一端设置有所述样品放置台（2），远离所述磁耦合驱动装置（4）一端的所述真空腔（1）侧壁设有可开闭的密封门（11），所述伸缩杆（3）通过所述磁耦合驱动装置（4）的控制伸缩和旋转，并且可通过所述密封门（11）伸出所述真空腔（1），所述真空腔（1）顶部设有观察窗（12），所述抽空装置（5）设于所述真空腔（1）侧壁。

2.根据权利要求1所述的一种真空样品台，其特征在于，所述磁耦合驱动装置（4）包括磁耦合电机（41）和连接管（42），所述伸缩杆（3）套接并贯穿所述连接管（42），所述连接管（42）于所述伸缩杆（3）接触面密封处理。

3.根据权利要求1所述的一种真空样品台，其特征在于，所述真空腔（1）为非透明遮光的304不锈钢材质。

4.根据权利要求1所述的一种真空样品台，其特征在于，所述观察窗（12）与所述真空腔（1）的接触面设有密封垫圈，所述观察窗（12）为标准真空观察窗，并且所述观察窗（12）设有可开合的遮光盖（13）。

5.根据权利要求1所述的一种真空样品台，其特征在于，所述样品放置台（2）设有加热装置（21）和温度传感器（22），所述加热装置（21）和温度传感器（22）通过所述伸缩杆（3）的空腔走线连接外部电源，并且所述温度传感器（22）通过所述伸缩杆（3）的空腔连接外部温度监控装置。