[实用新型]一种旋转冲洗甩干机控制系统

说明书

本实用新型公开了一种旋转冲洗甩干机控制系统，包括电机、电机驱动器、编码器、主控模块、检测单元、开关单元、阀门单元、加热单元和用于供电的电源模块，电机与电机驱动器相连，编码器分别连接电机和电机驱动器，电机驱动器、检测单元、开关单元和加热单元分别与主控模块相连。本技术方案通过主控模块对电机的控制实现旋转甩干功能，通过主控模块对加热单元的控制实现烘干功能，通过检测单元对主控模块的反馈实现各项监控功能，通过主控模块对阀门单元的控制实现冲洗、加压、自清洁功能，通过开关单元保证系统运行过程中的稳定性和安全性；整套系统能够实现对半导体晶片冲洗甩干过程的全自动控制，并且功能完善，对半导体晶片的清洁效果好。

技术领域

本实用新型涉及芯片清洁领域，具体的涉及一种旋转冲洗甩干机控制系统。

背景技术

半导体晶片在抛光和清洗工艺后，需做甩干处理，这需要用到甩干机。目前最常用的甩干方式是旋转冲洗甩干机，它的主要作用是通过高速旋转快速脱水，可用于各种半导体晶片、砷化镓材料、Ge材料、掩膜版、太阳能电池基片、蓝宝石、铌酸锂、光学镜片、磁盘、光盘、医用玻璃基片等类似材料的高洁净度冲洗甩干，是半导体湿法清洗工艺中必不可少的设备。

常规的旋转冲洗甩干机的控制系统实现的功能不够完善，无法做到对半导体晶片冲洗甩干过程的全自动控制，并且对半导体晶片的清洁效果不佳。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型的目的是提供一种能够实现全自动控制、功能完善的旋转冲洗甩干机控制系统。

本实用新型采用的技术方案是：

一种旋转冲洗甩干机控制系统，包括：电机、电机驱动器、编码器、主控模块、检测单元、开关单元、阀门单元、加热单元和用于供电的电源模块，所述电机与电机驱动器相连，所述编码器分别连接电机和电机驱动器，所述电机驱动器、检测单元、开关单元和加热单元分别与主控模块相连。

进一步的，所述检测单元包括温度检测传感器、电阻率测试仪、压力传感器，所述温度检测传感器、电阻率测试仪、压力传感器分别与主控模块相连。

进一步的，所述阀门单元包括冲洗阀、密封阀和吹净阀，所述冲洗阀、密封阀和吹净阀分别与主控模块相连。

进一步的，所述加热单元包括腔体加热器和氦气加热器，所述腔体加热器和氦气加热器分别与主控模块相连。

进一步的，所述开关单元包括启停开关、压力开关、温度限值开关，所述启停开关、压力开关、温度限值开关分别与主控模块相连。

进一步的，所述电机为交流永磁无刷电机。

进一步的，所述主控模块为三菱FX5U。

进一步的，还包括触摸屏，所述触摸屏与主控模块相连以用于显示实时状态。

进一步的，还包括除静电模块，所述除静电模块包括变压器、高压电源和两个放电极，所述变压器连接电源模块，所述高压电源与变压器相连，所述高压电源与两个放电极相连以用于消除静电。

本实用新型的有益效果在于：

本技术方案通过主控模块对电机的控制实现旋转甩干功能，通过主控模块对加热单元的控制实现烘干功能，通过检测单元对主控模块的反馈实现电阻率监控、温度监控、故障监控的各项监控功能，通过主控模块对阀门单元的控制实现冲洗、加压、内部自清洁功能，通过开关单元保证系统运行过程中的稳定性和安全性；整套系统能够实现对半导体晶片冲洗甩干过程的全自动控制，并且功能完善，保证了清洗工作的高洁净度冲洗甩干，对半导体晶片的清洁效果好。

附图说明

图1为本实用新型旋转冲洗甩干机控制系统的原理框图；

图2为本实用新型旋转冲洗甩干机控制系统的电路连接图。