[实用新型]铜片蚀刻清洗装置

权利要求书

1.铜片蚀刻清洗装置，包括操作箱，卷材式铜片由起始端通过若干导向传动辊和张紧辊配合，穿过操作箱，其特征在于，所述操作箱包括相互衔接的微蚀箱(8)、初洗箱(9)、浸泡箱(10)、碱洗箱(11)、酸洗箱(12)和末端清洗箱(13)，所述微蚀箱(8)内设有针对铜片的激光蚀刻组件。

2.根据权利要求1所述的铜片蚀刻清洗装置，其特征在于，所述初洗箱(9)内包括有若干喷淋嘴，所述喷淋嘴通过带有控制阀的进料管连接有冷却水进水管(5)；所述初洗箱(9)内设有排水口，所述排水口分别通过带有控制阀的出料管连接冷却水出水管(4)和排污水管(1)。

3.根据权利要求1所述的铜片蚀刻清洗装置，其特征在于，所述浸泡箱(10)内设有浸泡池，所述铜片在导向辊导向下经过所述浸泡池。

4.根据权利要求3所述的铜片蚀刻清洗装置，其特征在于，所述浸泡池内安装有液体分析仪器和液位传感器，所述液体分析仪器和液位传感器与装置内控制部连接。

5.根据权利要求3所述的铜片蚀刻清洗装置，其特征在于，所述浸泡池通过带有控制阀的进料管连接有药水进水管(3)，所述浸泡池还通过带有控制阀的出料管连接有微蚀排药水管(2)和排污水管(1)。

6.根据权利要求1所述的铜片蚀刻清洗装置，其特征在于，所述酸洗箱(12)内设有若干酸液喷头，所述酸液喷头通过带有控制阀的进料管连接有酸洗进药管(6)。

7.根据权利要求6所述的铜片蚀刻清洗装置，其特征在于，所述酸洗箱(12)通过带有控制阀的出料管连接有排污水管(1)。

8.根据权利要求1所述的铜片蚀刻清洗装置，其特征在于，所述碱洗箱(11)内设有若干碱液喷头，所述碱液喷头通过带有控制阀的进料管连接有碱洗进药管(7)。

9.根据权利要求8所述的铜片蚀刻清洗装置，其特征在于，所述碱洗箱(11)通过带有控制阀的出料管连接有排污水管(1)。

10.根据权利要求1所述的铜片蚀刻清洗装置，其特征在于，所述末端清洗箱(13)内设有喷淋装置，所述喷淋装置通过带有控制阀的进料管连接有冷却水进水管(5)，所述末端清洗箱(13)通过带有控制阀的出料管连接有冷却水出水管(4)。