[实用新型]一种气浮转台

说明书

本实用新型公开了一种气浮转台，包括轴承组件、反馈组件、驱动组件，所述轴承组件包括节流器及安装在节流器内侧的转子，所述驱动组件包括电机定子及电机动子，还包括底座、定子压环及动子固定支架，所述电机定子通过定子压环与底座固定连接，所述动子固定支架固定于转子上，电机动子固定于动子固定支架上；所述转子、节流器、电机动子、电机定子四者同轴，且在转子的径向方向，所述四者按照转子、节流器、电机动子、电机定子顺序由内至外依次排布，电机动子及电机定子朝向转子轴线的投影均落在转子上。本气浮转台的结构设计中，通过降低气浮转台的高度，可扩大其适用范围，使得其对空间大小的适应力更强。

技术领域

本实用新型涉及测量技术领域，特别是涉及一种气浮转台。

背景技术

气浮转台属于高精度的回转定位装置，由转轴、节流器、伺服电机、圆光栅等组成。气浮转台包括支承部件和驱动部件，支承部件由转轴和节流器组成，实现非接触支承；驱动部件由伺服电机和圆光栅组成，实现精密回转定位。

气浮转台广泛运用于高精度测量和加工技术领域，同时，气浮转台本身对测量结果和加工结果均具有重要的影响。

实用新型内容

针对上述提出的气浮转台本身对测量结果和加工结果均具有重要的影响的技术问题，本实用新型提供了一种气浮转台。本气浮转台的结构设计中，通过降低气浮转台的高度，可扩大其适用范围，使得其对空间大小的适应力更强。

针对上述问题，本实用新型提供的一种气浮转台通过以下技术要点来解决问题：一种气浮转台，包括轴承组件、安装在轴承组件上的反馈组件、与轴承组件相连的驱动组件，所述反馈组件用于测量旋转角度，所述驱动组件用于驱动轴承组件旋转，所述轴承组件包括节流器及安装在节流器内侧的转子，所述驱动组件包括电机定子及电机动子，还包括底座、定子压环及动子固定支架，所述电机定子通过定子压环与底座固定连接，所述动子固定支架固定于转子上，电机动子固定于动子固定支架上；

所述转子、节流器、电机动子、电机定子四者同轴，且在转子的径向方向，所述四者按照转子、节流器、电机动子、电机定子顺序由内至外依次排布，电机动子及电机定子朝向转子轴线的投影均落在转子上。

精密测量中，受到被测对象空间或测量精度等限制，要求气浮转台高度小、重量轻、精度高。随着我国科学技术的不断发展，精密测量技术已成为人们认识和改造客观世界的一种高新技术。同时，精密测量技术的研究得到了许多部门的重视，国家科委、国家自然科学基金委员会都将精密测量技术列为重点发展方向。如针对光学测量领域，现有气浮转台一般采用串联式设计：轴承与驱动电机串联的结构形式，这些气浮转台的尺寸无法满足测量对象空间或承载空间的限制，其重量也是影响测量精度的重要原因。

本方案中，所述驱动组件用于驱动轴承组件旋转，所述反馈组件用于实现轴承组件转角反馈，以达到如控制气浮转台转动角度的目的。所述驱动组件中，电机定子与电机动子相互作用，同时电机动子通过动子固定支架与转子连接，通过动子固定支架转矩，迫使转子转动；设置为所述四者按照转子、节流器、电机动子、电机定子顺序由内至外依次排布，电机动子及电机定子朝向转子轴线的投影均落在转子上，区别于传统驱动电机与轴承串联的形式，利用作为气浮转台支撑台的上盖板本身宽度或之间相较于转子和节流器一般较大的特点，采用以上结构形式的驱动组件与轴承组件的配合关系，在适当增加气浮转台的宽度或直径的情况下，使得气浮转台整体相较于现有气浮转台长度尺寸大大缩短，在运用于如光学测量时，其形态可很好的适应光学仪器测量空间，故使得其具有对空间大小适应力更强的特点，解决了在狭小空间范围内测量光学仪器精度等问题；同时，现有气浮转台在运用于如光学测量时，被检测对象的位置精度对测量精度也有重要的影响，本方案相较于现有气浮转台的结构和装配形式，其重心更低，故可通过更平稳的回转和更好的位置稳定性来获得更高的测量精度。

综上，该气浮转台的结构设计可使得其能在保证转台精度的同时降低转台高度，满足精密测量的需求。

更进一步的技术方案为：