[实用新型]一种芯片生产用除尘装置有效
| 申请号： | 201920796637.4 | 申请日： | 2019-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN210207925U | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 张益铭 | 申请（专利权）人： | 上海芯强微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/04 | 分类号： | B08B5/04;B08B13/00;A61L2/10;B01D49/00;B01D53/02;B01D53/00 |
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| 地址： | 200040 上海市静*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 芯片 生产 除尘 装置 | ||
1.一种芯片生产用除尘装置，包括横板(3)，其特征在于，所述横板(3)的底部外壁四角均设置有支撑腿(1)，且支撑腿(1)的底部外壁均固定有移动机构，两个支撑腿(1)的一侧外壁设置有同一个支撑板(2)，所述横板(3)的顶部外壁设置有吸尘机构，且横板(3)的底部外壁焊机有粉尘处理箱(4)，所述粉尘处理箱(4)的底部外壁和两个支撑板(2)的一侧外壁均设置有吸尘罩(12)，且粉尘处理箱(4)的底部内壁放置有毒气处理机构，所述粉尘处理箱(4)的内壁两侧设置有同一个活性炭吸附层(10)。
2.根据权利要求1所述的一种芯片生产用除尘装置，其特征在于，所述移动机构包括有连接框(13)，且连接框(13)的内壁通过轴承连接有同一个万向轮(6)。
3.根据权利要求1所述的一种芯片生产用除尘装置，其特征在于，所述吸尘机构包括有抽风机(8)，且抽风机(8)的输出端和粉尘处理箱(4)的顶部内壁设置有同一个导管(7)。
4.根据权利要求3所述的一种芯片生产用除尘装置，其特征在于，所述抽风机(8)的输入端设置有抽风管(9)，且抽风管(9)的另一端通过四通管分别连接有规格相同的导尘管(5)。
5.根据权利要求4所述的一种芯片生产用除尘装置，其特征在于，三个所述导尘管(5)的另一端分别通过法兰连接于吸尘罩(12)的一侧内壁。
6.根据权利要求1所述的一种芯片生产用除尘装置，其特征在于，所述毒气处理机构包括有毒气处理盒(11)，且毒气处理盒(11)的底部内壁放置有吸附剂。
7.根据权利要求1-6任一所述的一种芯片生产用除尘装置，其特征在于，还包括焊接于粉尘处理箱(4)的一侧内壁的灯座(15)，所述灯座(15)的内壁通过卡箍卡接有杀菌灯(16)。
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