[实用新型]微压力传感器检漏装置

说明书

本实用新型公开了微压力传感器检漏装置，包括恒温箱，所述恒温箱内部底面两侧分别设置有标准腔体和测试腔体，且恒温箱外部顶端一侧设置有压力控制器，所述压力控制器出压口设置有压力输入总管，所述压力输入总管上设置有第一电动阀门，且压力输入总管末端分别设置有第一输入分管和第二输入分管，所述标准腔体和测试腔体内分别设置有第一输出分管和第二输出分管。本实用新型通过压力控制器，实现压力的稳定输入，通过设置铝制标准腔体和测试腔体，实现测试过程中稳定的恒温保压，大大降低了充气时间和稳定时间，提高了捡漏速度；通过设置设置报警器，实现差压报警，通过设置温度传感器和保温层，提高了恒温箱内温度的稳定性。

技术领域

本实用新型涉及半导体设备技术领域，尤其涉及微压力传感器检漏装置。

背景技术

传统的微压力传感器检漏方法有涂抹法，压力变化法，流量法，超声波法。由于涂抹法比较实用，而且费用低，为大多数人接受，但泡沫会进入产品，造成污染。准确性也差，所以为了提高准确性以及可操作性，一般采用差压法检漏。

差压式检漏方法虽然和传统检漏方法相比提高了检测效率和可操作性，但对于多通道微压力传感器，仍然不能满足生产产能的要求，因为气温压力容器，充气时间，稳定时间等等约束了测试时间，一旦时间缩短，会大大影响精度，另外漏气判断也不准确。为此，我们提出了微压力传感器检漏装置。

实用新型内容

本实用新型提供了微压力传感器检漏装置，目的在于缩短检漏时间，且方便人们准确判断漏气情况。

为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本实用新型是通过以下技术方案实现：

一种微压力传感器检漏装置，包括恒温箱，所述恒温箱内部底面两侧分别设置有标准腔体和测试腔体，且恒温箱外部顶端一侧设置有压力控制器，所述压力控制器出压口设置有压力输入总管，所述压力输入总管上设置有第一电动阀门，且压力输入总管末端分别设置有第一输入分管和第二输入分管，所述第一输入分管和第二输入分管末端分别位于标准腔体和测试腔体内部，所述标准腔体和测试腔体内分别设置有第一输出分管和第二输出分管，所述第一输出分管和第二输出分管远离标准腔体和测试腔体的一端分别连接在差压传感器两个端口上，所述第一输出分管和第二输出分管上分别设置有第三电动阀门和第二电动阀门，所述恒温箱外部一侧设置有控制箱，所述控制箱上端设置有控制开关，所述控制开关内设置有PLC控制器，所述PLC控制器分别与恒温箱、第二电动阀门、压力控制器、第三电动阀门、控制开关、差压传感器和第一电动阀门电性连接，所述第一输入分管、第二输出分管、第二输入分管和第一输出分管末端均设置有插拔口。

优选地，上述陶瓷封装背压模组传感器用恒温恒湿试验箱中，所述标准腔体和测试腔体结构大小相同，且标准腔体和测试腔体均为铝制腔体。

基于上述技术特征，通过将标准腔体和测试腔体采用铝材质，提高了标准腔体和测试腔体内温度的稳定性。

优选地，上述陶瓷封装背压模组传感器用恒温恒湿试验箱中，所述恒温箱内壁设置有保温层。

基于上述技术特征，通过设置保温层，降低了恒温箱的散热速度，提高了恒温箱内温度的稳定性。

优选地，上述陶瓷封装背压模组传感器用恒温恒湿试验箱中，所述恒温箱内部底面设置有温度传感器，且温度传感器与PLC控制器电性连接。

基于上述技术特征，通过设置温度传感器，方便人们随时了解恒温箱内的温度，实现温度的随时调节。

优选地，上述陶瓷封装背压模组传感器用恒温恒湿试验箱中，所述恒温箱外部顶端设置有报警器，且报警器与PLC控制器电性连接。

基于上述技术特征，通过设置报警器，方便人们判断漏气情况。

优选地，上述陶瓷封装背压模组传感器用恒温恒湿试验箱中，所述控制箱内设置有散热风扇。