[实用新型]一种电铸模板

说明书

本实用新型公开了一种电铸模板，所述电铸模板用于掩膜板的电铸工艺，所述掩膜板形成于电铸模板的上表面；所述电铸模板的上表面包括中间区域、边界区域、以及连接区域，所述上表面的中间区域在高度上高于边界区域。本申请的电铸模板，有利于形成掩膜本体和掩膜板框电铸一体成型的掩膜板，有利于提高了掩膜板的制作良率和效率。

技术领域

本实用新型涉及掩膜板的制作领域，更具体的说是涉及一种电铸模板。

背景技术

掩膜板，应用在OLED等产品的真空蒸镀工艺中， OLED产品例如为有机发光二极管显示装置。掩膜板的制作可以通过电铸方法先制成掩膜本体后，再将掩膜本体张网拉紧焊接在掩膜板框上，从而获得用于真空蒸镀的掩膜板。因为掩膜板的精度和拉力强度等要求，这些张网焊接设备的要求很高，设备造价高；另外张网焊接的效率很低，造成掩膜板的制作良率和效率低下。

在掩膜板的电铸过程中，需要使用到电铸模板。如何改进电铸模板，以便提高掩膜板时制作的良率和效率，是本领域技术人员所要解决的问题。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种电铸模板，该电铸模板用于掩膜板的电铸工艺，该电铸模板可以提高掩膜板的制作良率和效率。

本实用新型提供的一种电铸模板，所述电铸模板用于掩膜板的电铸工艺，所述掩膜板形成于电铸模板的上表面；所述电铸模板的上表面包括中间区域、边界区域、以及连接区域，所述上表面的中间区域在高度上高于边界区域。

优选的，所述掩膜板包括掩膜板框和固定在掩膜框上的掩膜本体；所述掩膜本体的上表面与掩膜板框的上表面平齐，所述掩膜本体的下表面在高度上高于掩膜板框的下表面，所述掩膜本体的下表面与掩膜板框的下表面之间具有连接面；所述电铸模板的中间区域对应于掩膜本体的下表面，所述电铸模板的边界区域对应于掩膜板框的下表面，所述电铸模板的连接区域的形状与掩膜板的连接面的形状相匹配。

优选的，所述电铸模板的上表面连接区域的截面为垂直面、倾斜面、或曲面。

优选的，所述电铸模板的上表面连接区域的截面为倾斜面，该倾斜面与垂直方向的夹角为5~20度之间。

优选的，所述电铸模板的上表面中间区域、边界区域均为平面。

优选的，所述电铸模板的下表面设置有第一凹槽。

优选的，所述电铸模板的下表面为平面。

优选的，所述电铸模板的上表面设置有第二凹槽。

优选的，所述掩膜本体包括多个掩膜图案，所述掩膜图案之间包括电铸厚垫，所述电铸厚垫位于掩膜本体的下表面；所述第二凹槽与电铸厚垫相匹配。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

本实用新型的电铸模板，可用于掩膜板的电铸工艺，有利于形成掩膜本体和掩膜板框电铸一体成型的掩膜板，有利于提高了掩膜板的制作良率和效率。利用该电铸模板制成的掩膜板，由于掩膜本体和掩膜板框一体成型，节省了传统掩膜板制作过程中的张网和焊接制程，减少了张网焊接设备的高额投资，进而降低了掩膜板的制作成本；同时避免了张网加工过程中造成的对位误差和张网不紧等问题，避免了焊接制程中造成的不良和浪费，增强了掩膜板的机械强度，提高了掩膜板的制作良率和效率。

附图说明

图1是本实用新型实施例所述的第一种电铸模板的结构示意图；

图2是本实用新型实施例所述的第二种电铸模板的结构示意图；

图3是本实用新型实施例所述的第三种电铸模板的结构示意图；

图4是本实用新型实施例所述的第四种电铸模板的结构示意图；