[实用新型]一种利用腐蚀液微液滴腐蚀加工微孔的机床

权利要求书

1.一种利用腐蚀液微液滴腐蚀加工微孔的机床，其特征在于包括基座(1)、安装在基座上由X轴滑动台(4)和Y轴滑动台(2)构成的可在XY平面内移动定位的滑动平台、固定安装在滑动平台上用于安置待加工零件的工作台(3)，通过固定在基座上的支架(5)设置在所述滑动平台上方的压电腐蚀液微液滴装置(7)、控制滑动台和压电腐蚀液微液滴装置运转的控制器(9)；安装在支架上的压电腐蚀液微液滴装置的微滴液管(15)与待加工零件上表面的距离为微液滴滴下不会产生溅射；滑动平台和压电腐蚀液微液滴装置在控制器的控制下协调运行，位于工作台上的待加工零件沿设计线路在XY平面内移动，腐蚀微液滴从压电腐蚀液微液滴装置的微滴液管滴下对待加工零件进行微孔加工。

2.根据权利要求1所述的利用腐蚀液微液滴腐蚀加工微孔的机床，其特征在于，压电腐蚀液微液滴装置通过安装在支架(5)上的Z轴滑动台(6)设置在所述滑动平台上方，控制器控制Z轴滑动台带动安装在其上的压电腐蚀液微液滴装置上下运动。

3.根据权利要求2所述的利用腐蚀液微液滴腐蚀加工微孔的机床，其特征在于控制器经电机驱动器与X轴滑动台、Y轴滑动台和Z轴滑动台连接，经压电驱动器与压电腐蚀液微液滴装置连接，三个滑动台和压电腐蚀液微液滴装置在主控制器控制下协调运行。

4.根据权利要求3所述的利用腐蚀液微液滴腐蚀加工微孔的机床，其特征在于三个滑动台的驱动机构的驱动电机为伺服电机或步进电机。

5.根据权利要求1至4之一所述的利用腐蚀液微液滴腐蚀加工微孔的机床，其特征在于所述压电腐蚀液微液滴装置的微滴液管与待加工零件上表面的距离为0.5mm-1.0mm。

6.根据权利要求1至4之一所述的利用腐蚀液微液滴腐蚀加工微孔的机床，其特征在于所述压电腐蚀液微液滴装置由容纳腐蚀液的筒体(14)和安置在筒体上驱使筒体内腐蚀液从位于筒体下方的微滴液管内滴出的压电致动器(13)构成，主控制器通过压电驱动器与压电致动器电连接，控制压电腐蚀液微液滴装置运行。

7.根据权利要求6所述的利用腐蚀液微液滴腐蚀加工微孔的机床，其特征在于，所述筒体设计有与压力腐蚀液源相连接的腐蚀液进液管(10)。

8.根据权利要求7所述的利用腐蚀液微液滴腐蚀加工微孔的机床，其特征在于与压力腐蚀液源相连接的进液上设计有压力表(11)和控制阀(12)。

9.根据权利要求1至4之一所述的利用腐蚀液微液滴腐蚀加工微孔的机床，其特征在于安装Z轴滑动台的支架为门型结构支架。

10.根据权利要求1至4之一所述的利用腐蚀液微液滴腐蚀加工微孔的机床，其特征在于所述控制器为PLC控制器或PC控制器。