[实用新型]一种基于T型气浮导轨的运动平台

说明书

本实用新型提供了一种基于T型气浮导轨的运动平台，包括：隔震基台，隔震基台设置有第一X向导轨基座和第二X向导轨基座，Y向导轨基座沿Y向固定在第一X向导轨基座和第二X向导轨基座之间，Y向侧边导轨贴合设置在Y向导轨基座的前后外侧端面上，Y向侧边导轨上安装有真空预压气浮件，Y向工作台固定在Y向侧边导轨顶部；第一X向侧边导轨和第二X向侧边导轨分别贴合设置在第一X向导轨基座的左右两侧，X向工作台固定在第一X向侧边导轨和第二X向侧边导轨顶部。本基于T型气浮导轨的运动平台，通过将X、Y方向运动模块位于同一基准平面上，保证X、Y方向运动平面基准的统一，避免倾斜力矩的产生，提高运行精度。

技术领域

本实用新型涉及一种运动平台，具体涉及一种基于T型气浮导轨的运动平台。

背景技术

精密定位技术是精密工程领域的一项关键技术。随着先进电子制造特征尺寸的越来越小,电子制造设备中对运动定位平台的精度性能要求也越来越高,如光刻机、大面板液晶显示器制造和检测设备、光学扫描检测等设备中的运动平台都要求达到微米级(0.1～1μm)的定位精度。

精密定位平台是一个复杂的动力学系统，它的硬件构成、控制系统、导轨支撑形式和驱动方式等都会影响其综合性能。国内研宄超精密定位工作台多只限于高精度、短行程的定位工作台的研究，与国外的具有很大的差距。我国在精密定位技术和应用方面，如集成电路芯片和计算机的芯片和精密电子元器件的制造装备等领域的研宄还非常滞后。目前，气浮定位平台具有高速、快响应、小摩擦、高精度等优点，而且容易实现长行程，它已经成为精密定位平台发展的主要方向。因此研究二维直线驱动气浮平台的气浮导轨的特性、直线电机的精密控制和直线定位误差补偿等对提高系统的定位精度和稳定性，实现高速精密进给定位具有重要意义。

现有机密定位平台一般采用十字形结构的运动平台将两个直线单自由度运动模块分别沿X和Y方向层叠安装，Y方向运动模块固定在基座上，X方向运动模块固定在Y方向运动模块的电机动子上，而工作台安置在X方向运动模块的电机动子上。这种结构形式简单，结构紧凑；但是系统刚度较差，当行程过长、负载过大时会产生较大的倾斜力矩，导致系统变形和振动，影响运动精度，此外系统的驱动电机均集中在工作空间的中心部位，在一些对温度要求严苛的应用场合并不适用。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提出了一种基于T型气浮导轨的运动平台，通过将X、Y方向运动模块位于同一基准平面上，保证X、Y方向运动平面基准的统一，避免倾斜力矩的产生，提高运行精度。

为实现上述技术方案，本实用新型提供了一种基于T型气浮导轨的运动平台，包括：隔震基台，所述隔震基台上沿X方向并排间隔设置有第一X向导轨基座和第二X向导轨基座，Y向导轨基座沿Y向固定在第一X向导轨基座和第二X向导轨基座之间，两对称设置的Y向侧边导轨贴合设置在Y向导轨基座的前后外侧端面上，所述Y向侧边导轨与Y向导轨基座、隔震基台的贴合面上均安装有真空预压气浮件，Y向工作台固定在Y向侧边导轨顶部并位于Y向导轨基座的上方，Y向直线驱动机构安装在隔震基台上且与Y向工作台连接；第一X向侧边导轨和第二X向侧边导轨分别贴合设置在第一X向导轨基座的左右两侧，所述第一X向侧边导轨、第二X向侧边导轨与第一X向导轨基座、隔震基台贴合面上均安装有真空预压气浮件，X向工作台固定在第一X向侧边导轨和第二X向侧边导轨顶部并位于第一X向导轨基座的上方，X向直线驱动机构安装在隔震基台上且与X向工作台连接。