[实用新型]一种具有可拆卸导热结构的蒸镀坩埚有效
| 申请号： | 201920748649.X | 申请日： | 2019-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN209906870U | 公开（公告）日： | 2020-01-07 |
| 发明（设计）人： | 汪烨辰 | 申请（专利权）人： | 湖畔光电科技(江苏)有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 11574 北京律远专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 全成哲 |
| 地址： | 213200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 导热结构 坩埚 本实用新型 导热片 可拆卸设置 加热过程 热量传导 圆周分布 坩埚本体 不均匀 导热丝 可拆卸 内置 蒸镀 传导 体内 | ||
【权利要求书】：
1.一种具有可拆卸导热结构的蒸镀坩埚，包括坩埚本体，其特征在于：所述坩埚本体内可拆卸设置有导热结构，所述导热结构包括若干呈圆周分布的导热片，相邻导热片之间连接有导热丝。
2.根据权利要求1所述的具有可拆卸导热结构的蒸镀坩埚，其特征在于：所述导热结构包括4片呈圆周分布的导热片。
3.根据权利要求1所述的具有可拆卸导热结构的蒸镀坩埚，其特征在于：各所述导热片的两端均与所述坩埚本体的内壁接触配合。
4.根据权利要求1所述的具有可拆卸导热结构的蒸镀坩埚，其特征在于：所述导热片为弧形片。
5.根据权利要求4所述的具有可拆卸导热结构的蒸镀坩埚，其特征在于：所述弧形片的两端之间通过导热丝连接。
6.根据权利要求1所述的具有可拆卸导热结构的蒸镀坩埚，其特征在于：所述导热丝与相邻的导热片焊接连接。
7.根据权利要求5所述的具有可拆卸导热结构的蒸镀坩埚，其特征在于：所述弧形片的两端与所述导热丝两端焊接连接。
8.根据权利要求4所述的具有可拆卸导热结构的蒸镀坩埚，其特征在于：弧形的所述导热片两两相切呈环形分布。
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