[实用新型]三光同轴的激光熔接装置有效
申请号: | 201920730029.3 | 申请日: | 2019-05-21 |
公开(公告)号: | CN209859977U | 公开(公告)日: | 2019-12-27 |
发明(设计)人: | 赖耀升;金渶桓;江建志 | 申请(专利权)人: | 恩利克(上海)智能装备有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L51/52 |
代理公司: | 33304 杭州永航联科专利代理有限公司 | 代理人: | 江程鹏 |
地址: | 314100 浙江省嘉兴市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 右镜筒 同轴 激光聚焦透镜 本实用新型 激光熔接装置 二向色镜 左镜筒 测温 开口 激光反射镜 底部倾斜 固定激光 光纤连接 光纤末端 互相连通 激光熔接 生产技术 实时监测 激光器 反射镜 组设置 上端 熔接 显示屏 摄像机 激光 指向 摄影 | ||
本实用新型涉及显示屏生产技术领域,本实用新型的技术方案为:三光同轴的激光熔接装置,其包括互相连通的右镜筒和左镜筒;所述右镜筒的顶部通过光纤连接激光器,所述右镜筒的底部倾斜固定激光反射镜;所述右镜筒内设有激光聚焦透镜组,所述激光聚焦透镜组设置于激光反射镜正上方,所述光纤末端指向激光聚焦透镜组;所述左镜筒的底部具有开口,该开口的上端设置有第一二向色镜和第二二向色镜。本实用新型提供的三光同轴的激光熔接装置将熔接激光与测温光同轴测温,并与摄像机同轴摄影,可实时监测激光熔接效果。
技术领域
本实用新型涉及显示屏生产技术领域,尤其涉及到三光同轴的激光熔接装置。
背景技术
刚性AMOLED的生产工艺复杂、精密而且昂贵,一条月产能30K的六代线得投资300亿人民币,且建设周期超过两年。激光封装技术(Laser Sealing)是刚性AMOLED面板后半段生产制造中最重要的制程技术,流片至此,良品率的控制显得尤为重要;而且封装质量对面板寿命影响巨大,是不容忽视的重要生产环节。
目前市场上最常用的激光熔接装置,是通过一个激光器把激光打入激光聚焦头中,使激光射向底部的刚性AMOLED显示面板;再另设一个光测高温计,光测高温计头设置在激光聚焦头旁边,通过一定的倾斜角度对激光熔接点进行测温,由于激光聚焦头旁还设有另外其他装置,空间局促,所以光测高温计头的位置是固定的。
在刚性AMOLED显示面板封装时,我们需要熔接的区域为刚性AMOLED 显示面板四周一圈,光测高温计头因倾斜向下设置,会导致光测高温计测温的范围在刚性AMOLED面板上呈椭圆形的光斑,会与激光熔接光斑大小不同,特别是激光聚焦头在改变行径方向后,光测高温计头不能跟随转动,光测高温计的光斑与激光的光斑覆盖区域偏差增大,导致检测温度跟实际温度会有失准、偏差;对比文件201820924997.3提出同轴测温的激光熔化装置,其已经觉得了光斑大小控制的问题,虽然该技术方案已经可以做到准确地对激光熔接时熔接温度的实时监测,温度的监测是刚性AMOLED封装好坏的一个重要指标,但是为了提高封装良品率和封装质量,还需要对熔接时的熔接状态进行实时监测,仅仅通过温度监测还是不够精准。
因此,我们有必要对这样一种结构进行改善,以克服上述缺陷。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种同时具备熔接、测温和摄像功能,且空间紧凑,体积较小的激光熔接装置。
本实用新型的上述技术目的是用过以下技术方案实现的:
三光同轴的激光熔接装置,其包括互相连通的右镜筒和左镜筒;
所述右镜筒的顶部通过光纤连接激光器,所述右镜筒的底部倾斜固定激光反射镜;所述右镜筒内设有激光聚焦透镜组,所述激光聚焦透镜组设置于激光反射镜正上方,所述光纤末端指向激光聚焦透镜组;
所述左镜筒的底部具有开口,该开口的上端设置有第一二向色镜和第二二向色镜;
其中,所述第一二向色镜与激光反射镜在同一高度且呈平行设置,激光器发出的激光通过光纤传导穿透激光聚焦透镜组聚焦后经激光反射镜和第一二向色镜反射,从所述左镜筒的底部开口射至显示面板玻璃面,所述第二二向色镜的上端设有摄像头,所述第二二向色镜的左侧设有高温计。
本实用新型的进一步设置为:所述激光反射镜向所述第一二向色镜方向倾斜45度角设置。
本实用新型的进一步设置为:所述第一二向色镜位于所述第二二向色镜的下方,所述第一二向色镜和第二二向色镜均位于所述开口的正上方。
本实用新型的进一步设置为:所述第一二向色镜包括第一增透膜、第一二向色膜及第一中间层,所述第一中间层的两端分别镀设有第一增透膜和第一二向色膜,所述第一二向色膜设于靠近激光反射镜的一侧。
本实用新型的进一步设置为:所述第一二向色镜的反射波长范围为 780-830nm。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择