[实用新型]一种扫描电镜样品台

说明书

本实用新型公开了一种扫描电镜样品台，包括基座以及至少一个与基座可拆卸连接的承载模块，所述承载模块带有用于承载样品的承载斜面。所述基座由底座和设置于底座上的凸台组成，所述承载模块带有与凸台侧面形状相匹配的接触面，所述承载模块与底座可拆卸连接，并且所述承载模块的接触面与凸台侧面接触配合。本实用新型不需要夹具和转轴等较为复杂的部件，即可实现同时装载多个样品、同时多角度测量的目的，兼具平面和截面测试功能，能够减少放真空‑换样‑抽真空的等待时间，提高实验和生产检验中的测试效率，本实用新型设计简单，易加工，易操作。

技术领域

本实用新型属于扫描电镜技术领域，具体涉及一种扫描电镜样品台。

背景技术

扫描电镜是用聚焦得很细的电子束照射被检测的试样表面，利用电子束与物质相互作用激发出的二次电子或背散射电子等进行形貌观察。扫描电镜克服了光学显微镜放大倍率受到光波长限制的弊端，具有放大倍率高、可调范围宽、样品制备简单、景深大、综合分析能力强等优点，是现代固体材料微区形貌和结构分析的最有用仪器之一，广泛应用于教学、科研甚至工业生产中。

扫描电镜根据其电子光学系统不同，需要不同的真空度条件，分辨率较高的冷场发射扫描电镜要求真空度为10^-8量级左右，热场发射扫描电镜约为10^-7量级，即使分辨较低的钨灯丝扫描电镜也需要10^-3量级的真空度。因此，抽真空等待时间是造成扫描电镜检测效率低的重要原因之一。对于多试样的检测，通常做法是尽量在一个样品台上制备多个样品，减少频繁抽放真空占用的时间。但是对于一些需要变换角度观测的样品，如光伏器件表面陷光结构、多孔结构材料、材料表面微纳米晶等的观测，效率还有待提高。

现有技术中也出现了一些可以实现多角度扫描的电镜平台，但是依然存在诸多不足，例如公告号为CN206460940U的专利文献公开了一种多角度扫描电镜样品台，其只能进行20°、70°的EBSD测试和普通的平面形貌测试。公告号为CN206864432U的专利文献公开了一种多功能扫描电镜样品台，其利用转轴和转动板实现旋转功能，能够测量多角度，但角度变化时需要放真空，不能够同时测量多个不同角度的样品。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种扫描电镜样品台，不需要夹具或转轴等较为复杂的部件，即可满足多个样品、多角度同时装载在样品台上，以供进行多个样品的多个角度的观测。

本实用新型的技术方案为：一种扫描电镜样品台，包括基座以及至少一个与基座可拆卸连接的承载模块，所述承载模块带有用于承载样品的承载斜面。

本实用新型中承载模块可以有多个，各个承载模块上的承载斜面的倾斜角度可以不同，在使用时，可根据角度需要选择相应的承载模块来承载样品，样品放置于承载模块上时，可以采用多种方式放置于承载面上，例如可以采用导电胶将样品粘贴于承载斜面上，通过将样品与具有不同倾斜角度的不同承载模块相配合，即可实现对多个样品同时进行多个任意角度的扫描电镜测试，节约真空等待时间，提高测试效率。

另外，本实用新型中承载模块与基座之间的可拆卸连接方式有多种，例如可以将承载模块底面与基座之间通过导电胶或螺丝固定。

本实用新型中基座的结构形式有多种，作为优选，所述基座由底座和设置于底座上的凸台组成，所述承载模块带有与凸台侧面形状相匹配的接触面，所述承载模块与底座可拆卸连接，并且所述承载模块的接触面与凸台侧面接触配合。本实用新型中凸台上也可以放置样品进行测试，本实用新型中底座的形状可以为圆形，本实用新型中可以在底座上开着螺纹孔，在承载模块上开设有与螺纹孔尺寸相同且位置对应的螺纹孔，连接时，可以采用沉头螺丝从下往上依次穿过底座和承载模块上的螺纹孔，进而使得承载模块和底座固定在一起，本实用新型中也可以直接用导电胶将承载模块粘在基座的底座上。承载模块安装在基座上后，其大小不能超出基座。

本实用新型中凸台的结构形式有多种，作为优选，所述凸台的侧面由多个矩形面组成，所述承载模块的接触面与矩形面形状相同。