[实用新型]一种CVD尾气处理装置有效
| 申请号： | 201920697724.4 | 申请日： | 2019-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN210050813U | 公开（公告）日： | 2020-02-11 |
| 发明（设计）人： | 杨仕品 | 申请（专利权）人： | 昆山市智程自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | F23G7/06 | 分类号： | F23G7/06;B01D50/00;F23G5/14;F23J15/02 |
| 代理公司： | 32354 苏州企航知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 朱丹 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 二次燃烧 过滤 吸收箱 燃烧室 喷管 进气管 冷凝管 喷淋室 燃烧 喷室 室内 尾气处理装置 本实用新型 固体沉积物 充分燃烧 冷凝固化 密闭连接 气体尾气 气液吸收 燃烧状态 混合物 淋喷头 排气管 外侧壁 引流管 上端 固连 灌入 喷淋 外周 接续 连通 尾气 吸收 | ||
【权利要求书】：
1.一种CVD尾气处理装置，包括机架、燃烧室、二次燃烧管、过滤吸收箱、喷淋室以及进气管和排气管，其特征在于：
所述燃烧室连接进气管，将引进的未分解的有机硅烷、反应产物HCl、分解产物焦油、沉淀产物粒子和稀释Ar的混合物灌入燃烧室内，保持足够温度情况下维持燃烧状态，并在所述二次燃烧管中接续燃烧，所述二次燃烧管外周固连有第一冷凝管和第二冷凝管，将燃烧后的残余沉积物引入过滤吸收箱，
所述过滤吸收箱上端密闭连接有引流管和U形管，所述U形管连接所述二次燃烧管和喷淋室，所述喷淋室外侧壁设置有淋喷管，所述淋喷管连通在喷淋室内分布为上下若干个淋喷头，充分吸收燃烧后的排放气体，对应每个淋喷头位置、在所述喷淋室外侧壁上还设置有观察窗。
2.根据权利要求1所述的CVD尾气处理装置，其特征在于：所述过滤吸收箱设置有带有阀门的排污口，上端设置有过滤液灌入口。
3.根据权利要求1所述的CVD尾气处理装置，其特征在于：所述第一冷凝管、第二冷凝管连接外界的冷凝水体。
4.根据权利要求1所述的CVD尾气处理装置，其特征在于：所述机架上设置有温度表，控制监测燃烧室、二次燃烧管以及喷淋室的温度状态。
5.根据权利要求1所述的CVD尾气处理装置，其特征在于：所述排气管内设置有除雾器。
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