[实用新型]自动解键合机有效
申请号: | 201920687681.1 | 申请日: | 2019-05-14 |
公开(公告)号: | CN209872344U | 公开(公告)日: | 2019-12-31 |
发明(设计)人: | 王云翔;冒薇;段仲伟;马冬月;许爱玲;李晓帅;祝翠梅;姚园 | 申请(专利权)人: | 苏州美图半导体技术有限公司 |
主分类号: | B81C99/00 | 分类号: | B81C99/00 |
代理公司: | 32288 南京思拓知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 苗建 |
地址: | 215123 江苏省苏州市工*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空吸盘 衬底 键合 焊接波纹管 顶片装置 上连接板 吸附固定 吸附 本实用新型 加热装置 键合过程 键合机 上侧面 下侧面 伸长 充气 加热 上衬 成功率 平行 驱动 | ||
1.一种自动解键合机,包括机壳,其特征是:在所述机壳内设置能吸附键合衬底组的衬底吸附固定顶片装置(16)以及能对键合衬底组进行加热的衬底吸附加热装置(19),所述衬底吸附加热装置(19)位于机壳内的上部,衬底吸附固定顶片装置(16)通过机械手(15)安装于机壳内的下部,衬底吸附固定顶片装置(16)通过机械手(15)在机壳内能运动至衬底吸附加热装置(19)的正下方;
所述衬底吸附加热装置包括上连接板(34)、设置于所述上连接板(34)下侧面的上真空吸盘(21)以及设置于所述上连接板(34)上侧面的焊接波纹管(23),向焊接波纹管(23)内充气后,通过焊接波纹管(23)的伸长能驱动上真空吸盘(21)向靠近正下方的衬底吸附固定顶片装置(16)运动,上真空吸盘(21)与衬底吸附固定顶片装置(16)上的键合衬底组接触后,通过上真空吸盘(21)能对键合衬底组加热直至使得键合衬底组解键合,解键合后得到的下衬底(38)能吸附在衬底吸附固定顶片装置(16)上,解键合后得到的上衬底(39)能吸附在上真空吸盘(21)上。
2.根据权利要求1所述的自动解键合机,其特征是:还包括能对焊接波纹管(23)运动进行导向的波纹管导向柱(22),波纹管导向柱(22)的一端与机壳内的顶端连接,波纹管导向柱(22)的另一端穿过上连接板(34),波纹管导向柱(22)位于上连接板(34)下方的端部设置导向柱限位端板(35),波纹管导向柱(22)上套设有导向柱弹簧(20),所述导向柱弹簧(20)位于导向柱限位端板(35)与上连接板(34)之间。
3.根据权利要求2所述的自动解键合机,其特征是:在所述上连接板(34)上设置若干推拉气缸(25),所述推拉气缸(25)的活塞杆上设置锁紧块(24),通过推拉气缸(25)以及锁紧块(24)能对相对应的波纹管导向柱(22)锁死。
4.根据权利要求1所述的自动解键合机,其特征是:所述衬底吸附固定顶片装置(16)包括用于与机械手(15)连接的支撑法兰(31)、位于所述支撑法兰(31)正上方的下连接板(27)以及能将下衬底(38)顶起的衬底顶升机构,所述下连接板(27)通过若干连接板支撑柱(28)支撑在支撑法兰(31)上;在下连接板(27)上设置下真空吸盘(17),在下真空吸盘(17)上设置若干贯通所述下真空吸盘(17)的下真空吸附孔(37)。
5.根据权利要求4所述的自动解键合机,其特征是:所述衬底顶升机构包括设置于支撑法兰(31)上的顶针升降气缸(29)以及若干能从下真空吸盘(17)穿出的弹性顶针(26),所述弹性顶针(26)通过顶针固定块(30)与顶针升降气缸(29)的活塞杆适配连接;通过弹性顶针(26)能将下衬底(38)从下真空吸盘(17)上顶起。
6.根据权利要求1所述的自动解键合机,其特征是:所述机壳包括两对称分布的立板(2)以及与所述立板(2)固定连接的顶板(1),衬底吸附加热装置(19)安装于顶板(1)的内侧面上,在顶板(1)上设置能对焊接波纹管(23)进行充气的波纹管充放气接口(32)。
7.根据权利要求1所述的自动解键合机,其特征是:所述机壳支撑于架体(4)上,在架体(4)的侧面板(6)上设置内嵌拉手(5),在架体(4)的底端设置若干均匀分布的支撑脚座(7)。
8.根据权利要求7所述的自动解键合机,其特征是:在架体(4)的正面设置显示屏(11),所述显示屏(11)的显示屏壳体(12)通过铰链与架体(4)连接。
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