[实用新型]一种新型喷镀装置

权利要求书

1.一种新型喷镀装置，其特征在于：包括壳体，以及设置在壳体内的样品台，所述的样品台设置在旋转机构上，所述的样品台下端还设置有加热机构，所述样品台的上端还设置有一喷头，所述的喷头上设置有多个喷孔，所述的喷孔的孔径为0.05-1mm，所述的喷头通过高压气流管道输入高纯氮气或高压氮气，所述的高压气流管道还通过进料管道与进料筒连通。

2.根据权利要求1所述的一种新型喷镀装置，其特征在于：所述的旋转机构包括旋转电机、以及与旋转电机连接的旋转轴，所述的样品台设置在旋转轴上端。

3.根据权利要求1所述的一种新型喷镀装置，其特征在于：所述的加热机构为电磁加热线圈。

4.根据权利要求1所述的一种新型喷镀装置，其特征在于：所述的进料筒的容积为10-1500mL，其用于装载前驱体溶液，并且所述的进料筒内侧壁上设置有保温层。

5.根据权利要求1所述的一种新型喷镀装置，其特征在于：所述的样品台上开设有用于放置衬底的凹槽，所述凹槽的直径为1cm-4in。

6.根据权利要求2所述的一种新型喷镀装置，其特征在于：所述的旋转机构的旋转速度为5-6000转/分钟。

7.根据权利要求3所述的一种新型喷镀装置，其特征在于：所述的电磁加热线圈的最高加热温度为600℃。

8.根据权利要求1所述的一种新型喷镀装置，其特征在于：所述的高压气流管道上设置有进气阀，所述的进料管道上设置有进料阀。

9.根据权利要求1所述的一种新型喷镀装置，其特征在于：所述喷头的形状为圆形，所述的喷孔呈圆周分布在圆形的喷头上，且每个圆周上设置有4-16个喷孔。