[实用新型]经涂布过滤膜、过滤筒和过滤器

说明书

本实用新型涉及经涂布过滤膜、过滤筒和过滤器。描述涂布有聚酰胺的过滤膜、包含所述过滤膜的过滤器和过滤筒，以及使用和制作所述过滤膜的方法。

技术领域

以下描述涉及涂布有含有交联聚酰胺聚合物的层的包含多孔聚合物过滤层的过滤膜；涉及制作经涂布过滤膜、过滤组件和过滤器的方法；且涉及使用经涂布过滤膜、过滤组件或过滤器过滤流体，例如液体化学物质以从流体去除非所需材料的方法。

背景技术

过滤膜和过滤器产品为用于从适用流体流去除非所需材料的现代工业的必不可少的工具。使用过滤器进行处理的适用流体包含水、液体工业溶剂和处理流体、用于制造或处理(例如，半导体制造)的工业气体，以及具有医疗或医药上的用途的液体。从流体去除的非所需材料包含杂质和污染物，例如颗粒、微生物，和经溶解化学物种。过滤器应用的特定实例包含在制药业中将其用于从治疗用溶液去除颗粒和细菌，以处理超纯含水和有机溶剂溶液以供用于微电子和半导体处理并用于水净化过程。

为了执行过滤功能，过滤器产品包含负责去除非所需材料的过滤膜。视需要，过滤膜可呈扁平薄片形式，其可经卷绕(例如，成螺旋状)或为褶状等等。替代地，过滤膜可呈中空纤维形式。可将过滤膜容纳于壳体内，使得经过滤流体经由过滤器入口进入且需要所述流体在通过过滤器出口之前通过所述过滤膜。

过滤膜可由多孔结构构成，所述多孔结构具有可基于过滤器的用途，即由过滤器执行的过滤的类型而选择的平均孔隙大小。典型孔隙大小在微米或亚微米范围内，例如为约0.001微米到约10微米。一般来说，具有约0.001到约0.05微米的平均孔隙大小的膜被分类为超滤膜。一般来说，孔隙大小在约0.05与10微米之间的膜被分类为微孔膜。

多孔聚合物膜为常见类型的过滤膜，包含由各种氟聚合物、聚烯烃和例如尼龙6和尼龙66的尼龙材料制成的那些过滤膜。尼龙过滤器在商业上用于过滤溶剂材料以用于用于半导体制造的光刻方法。这些方法需要具有非常高的纯度水平，并且因此必须使用有效性非常高的过滤系统进行过滤的溶剂。由尼龙制成的过滤器可经制备具有对于这些应用可有效的经控制的小孔隙大小。然而，微电子和半导体处理中所使用的液体可为酸性。并且，使用金属催化剂，例如镁聚合一些尼龙。将过滤膜的所述类型的尼龙暴露于酸性液体可趋向于致使金属(例如，镁)从尼龙被提取到正经过滤的酸性流体中，在所述酸性流体中所述金属被视为污染物。此外，针对惰性和耐溶剂性设计的尼龙未必总是可溶于大量溶剂中。这减少了用于制备尼龙过滤膜或过滤膜涂层的选项。至少出于这些原因，过滤领域中持续存在对于新过滤器和改进型过滤器，包含含有尼龙的过滤器的需要。

实用新型内容

微电子装置处理领域需要处理材料和方法的稳定改进以维持微电子装置性能(例如，速度和可靠性)的并行的稳定改进。在制造过程的所有方面中均存在改进微电子装置制造的机会，包含用于过滤液体材料的方法和系统。

在微电子装置处理中，将大范围的不同类型的液体材料用作过程溶剂、清洁剂，和其它处理溶液。这些材料中的许多(如果不是大部分的话)在非常高的纯度水平下使用。作为实例，微电子装置的光刻处理中所使用的液体材料(例如，溶剂)必须具有非常高的纯度。微电子装置处理中所使用的液体的特定实例包含用于旋涂玻璃(SOG)技术、用于背侧抗反射涂层(BARC)方法，和用于光刻的过程溶液。这些液体材料中的一些为酸性的。为了提供高纯度水平下的这些液体材料以用于微电子装置处理，过滤系统必须从所述液体高效去除各种污染物和杂质，且在存在正经过滤液体材料(例如，酸性材料)的情况下必须稳定(即，不劣化或不引入污染物)。

在例如用于微电子处理的具有挑战性的应用中，许多至关重要的考虑因素会影响提供有效性不断提高的过滤器系统的能力。尼龙材料(一般为聚酰胺)已经用作多孔过滤膜、用作多孔过滤膜上的涂层，或用作这两者。尼龙在这些过滤膜中已经用于过滤微电子装置制造中涉及的各种液体材料，但在无改进的情况下，随着微电子装置处理方法继续发展，尼龙将变得低效或次优。