[实用新型]一种探针卡槽盒

说明书

本实用新型公开了一种探针卡槽盒，属于量子芯片检测设备领域，所述探针卡槽盒包括底板、盖板和连接器；所述底板上开有若干用于放置量子芯片的卡槽；所述盖板可拆卸盖在所述底板上开有卡槽的表面，所述盖板上与所述底板上的各所述卡槽相对位置处开有通孔；各所述连接器分别可拆卸安装在所述盖板上的各所述通孔内，所述连接器远离底板的一端设有探针接头，靠近底板的一端设有一对接触针，各所述接触针在所述盖板盖合在所述底板上后，分别与放置在所述卡槽内的量子芯片的正极板和负极板接触并电连，本实用新型能够避免采用移动探针与量子芯片表面极板直接接触的方式对量子芯片进行检测，对量子芯片的检测更加安全、稳定。

技术领域

本实用新型属于量子芯片检测设备领域，特别是一种探针卡槽盒。

背景技术

量子芯片是量子计算机的基本构成单元，是以量子态的叠加效应为原理，以量子比特为信息处理的载体的处理器，量子芯片主要包含超导量子芯片、半导体量子芯片、量子点芯片、离子阱及NV(金刚石)色心等。

在之前申请的专利中提供了一种量子芯片测试装置，包括量子芯片放置台、探针装置和检测装置；述量子芯片放置台表面开有若干用于放置量子芯片的卡槽；所述探针装置包括用于安装所述量子芯片放置台的探针座、至少一对探针和探针移动装置，所述探针固定在所述探针移动装置上，并在所述探针移动装置的带动下移动至所述卡槽的上方并与放置在所述卡槽内的量子芯片接触；所述检测装置与所述探针电连接；其通过移动探针使得探针直接与量子芯片的极板接触的方式进行检测。

现有技术的问题在于，通过移动探针直接与量子芯片的极板接触，由于探针触头较小，与所述量子芯片表面的接触点比较细微，与量子芯片表面接触不够稳定，并且探针与量子芯片表面的接触压力不好控制，如果压力过大可能会对量子芯片造成结构损坏，同时，裸露的量子芯片容易受到外界环境的干扰。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种探针卡槽盒，以解决现有技术中的不足，它能够避免采用移动探针与量子芯片表面极板直接接触的方式对量子芯片进行检测，对量子芯片的检测更加安全、稳定。

一种探针卡槽盒，所述探针卡槽盒包括底板、盖板和连接器；

所述底板上开有若干用于放置量子芯片的卡槽；

所述盖板可拆卸盖在所述底板上开有卡槽的表面，所述盖板上与所述底板上的各所述卡槽相对位置处开有通孔；

各所述连接器分别可拆卸安装在所述盖板上的各所述通孔内，所述连接器远离底板的一端设有探针接头，靠近底板的一端设有一对接触针，各所述接触针在所述盖板盖合在所述底板上后，分别与放置在所述卡槽内的量子芯片的正极板和负极板接触并电连。

进一步的，所述底板和所述盖板均由绝缘材料制成。

进一步的，各所述卡槽为矩形沉槽。

进一步的，所述底板上的各所述卡槽以若干行若干列的形式均匀设置在所述底板的表面，其中：每一行中两相邻所述卡槽间的距离相等，每一列中两相邻所述卡槽间的距离相等。

进一步的，各所述卡槽均相对于每一行所述卡槽或者每一列所述卡槽的排列方向倾斜设置。

进一步的，所述底板的内部设有中空的腔体，所述底板远离所述卡槽的表面开有第一气孔，所述底板上各所述卡槽的底部开有第二气孔，所述第一气孔和所述第二气孔均与所述腔体连通。

进一步的，所述盖板与所述底板盖合后在同一侧铰接、与所述铰接的一侧相对的另一侧可拆卸连接。

进一步的，所述盖板与所述底板盖合后在与所述铰接的一侧相对的另一侧可拆卸连接的连接位置处分别设置第一磁铁和第二磁铁，所述第一磁铁和所述第二磁铁通过磁力连接。