[实用新型]一种探针卡槽盒有效
申请号: | 201920555830.9 | 申请日: | 2019-04-23 |
公开(公告)号: | CN209927903U | 公开(公告)日: | 2020-01-10 |
发明(设计)人: | 李玲;王晓光 | 申请(专利权)人: | 合肥本源量子计算科技有限责任公司 |
主分类号: | G01R1/04 | 分类号: | G01R1/04 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 230008 安徽省合肥*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 底板 量子 盖板 连接器 芯片 卡槽 本实用新型 接触针 探针卡 槽盒 通孔 芯片检测设备 可拆卸安装 可拆卸盖 芯片表面 移动探针 负极板 盖板盖 位置处 正极板 检测 电连 极板 探针 安全 | ||
1.一种探针卡槽盒,其特征在于:所述探针卡槽盒包括底板、盖板和连接器;
所述底板上开有若干用于放置量子芯片的卡槽;
所述盖板可拆卸盖在所述底板上开有卡槽的表面,所述盖板上与所述底板上的各所述卡槽相对位置处开有通孔;
各所述连接器分别可拆卸安装在所述盖板上的各所述通孔内,所述连接器远离底板的一端设有探针接头,靠近底板的一端设有一对接触针,各所述接触针在所述盖板盖合在所述底板上后,分别与放置在所述卡槽内的量子芯片的正极板和负极板接触并电连。
2.根据权利要求1所述的探针卡槽盒,其特征在于:所述底板和所述盖板均由绝缘材料制成。
3.根据权利要求1所述的探针卡槽盒,其特征在于:各所述卡槽为矩形沉槽。
4.根据权利要求3所述的探针卡槽盒,其特征在于:所述底板上的各所述卡槽以若干行若干列的形式均匀设置在所述底板的表面,其中:每一行中两相邻所述卡槽间的距离相等,每一列中两相邻所述卡槽间的距离相等。
5.根据权利要求4所述的探针卡槽盒,其特征在于:各所述卡槽均相对于每一行所述卡槽或者每一列所述卡槽的排列方向倾斜设置。
6.根据权利要求5所述的探针卡槽盒,其特征在于:所述底板的内部设有中空的腔体,所述底板远离所述卡槽的表面开有第一气孔,所述底板上各所述卡槽的底部开有第二气孔,所述第一气孔和所述第二气孔均与所述腔体连通。
7.根据权利要求1所述的探针卡槽盒,其特征在于:所述盖板与所述底板盖合后在同一侧铰接、与所述铰接的一侧相对的另一侧可拆卸连接。
8.根据权利要求7所述的探针卡槽盒,其特征在于:所述盖板与所述底板盖合后在与所述铰接的一侧相对的另一侧可拆卸连接的连接位置处分别设置第一磁铁和第二磁铁,所述第一磁铁和所述第二磁铁通过磁力连接。
9.根据权利要求1所述的探针卡槽盒,其特征在于:所述连接器为SMA连接器。
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