[实用新型]还原尾气的无定形硅处理系统

权利要求书

1.一种还原尾气的无定形硅处理系统，其特征在于，包括依次连接的喷淋洗涤装置(1)、过滤装置(3)、换热组件和冷凝装置(5)；

所述喷淋洗涤装置(1)用于通入洗涤液洗涤还原尾气，得到第一固液混合物；

所述过滤装置(3)用于分离所述第一固液混合物，得到液相和第二固液混合物；

换热组件用于加热第二固液混合物，分离得到气相和固相；

所述冷凝装置(5)用于冷凝所述气相，得到洗涤液。

2.根据权利要求1所述的还原尾气的无定形硅处理系统，其特征在于，所述喷淋洗涤装置(1)包括：

还原尾气入口(11)，用于通入所述还原尾气；

喷淋组件(12)，设置于所述喷淋洗涤装置(1)内，并连接有液相管道，用于喷淋氯硅烷洗涤液洗涤所述还原尾气，得到所述第一固液混合物；

第一出口(13)，设置于所述喷淋洗涤装置(1)的底部，并连接所述过滤装置(3)，用于送出第一固液混合物。

3.根据权利要求1所述的还原尾气的无定形硅处理系统，其特征在于，所述过滤装置(3)包括：

固液入口(31)，连接所述喷淋洗涤装置(1)，用于通入第一固液混合物；

金属过滤网(32)，设置于固液入口(31)的下方，用于过滤所述第一固液混合物中的固体颗粒物，得到位于上层的液相和位于下层的第二固液混合物；

第一液相出口(34)，设置于过滤装置(3)的顶部，用于溢流过滤装置(3)内静置的液相；

混合物出口(33)，设置于所述金属过滤网(32)的正下方，连接所述换热组件，用于送出第二固液混合物。

4.根据权利要求3所述的还原尾气的无定形硅处理系统，其特征在于，所述过滤装置(3)的顶部还连接有反冲洗管路(35)，用于通入中高压氮气，去除金属过滤网(32)上附着的第二固液混合物。

5.根据权利要求1所述的还原尾气的无定形硅处理系统，其特征在于，所述换热组件包括第一换热器(41)，所述第一换热器(41)内通入有第一热交换管道(42)，所述第一热交换管道(42)连接有热源(45)；

所述第一换热器(41)设置有气相出口(46)，所述气相出口(46)连接所述冷凝装置(5)。

6.根据权利要求5所述的还原尾气的无定形硅处理系统，其特征在于，所述换热组件还包括第二换热器(43)，所述第二换热器(43)内通入有第二热交换管道(44)，所述第二热交换管道(44)与所述第一热交换管道(42)并联连接所述热源(45)；

所述第二换热器(43)上的气相出口(46)连接所述冷凝装置(5)。

7.根据权利要求1所述的还原尾气的无定形硅处理系统，其特征在于，所述冷凝装置包括：

气相入口(51)，连接所述换热组件，用于通入气相；

冷凝管路(52)，设置于所述冷凝装置(5)内，用于使所述气相冷凝得到氯硅烷洗涤液；

第二液相出口(53)，连接所述喷淋洗涤装置(1)，用于将氯硅烷洗涤液送出至喷淋洗涤装置(1)。