[实用新型]一种微型继电器

说明书

本实用新型公开了一种微型继电器，包括电磁铁层以及薄膜开关层；所述薄膜开关层包括TiW‑Au粘附层、第一绝缘层、第二绝缘层以及设置于第一绝缘层与第二绝缘层之间的静导电片和动导电片，所述TiW‑Au粘附层通过溅射技术形成于所述电磁铁层表面，所述第一绝缘层通过溅射技术形成于所述TiW‑Au粘附层上，所述动导电片的一端位于所述静导电片的上方，动导电片与静导电片之间形成空气桥。本实用新型的薄膜开关层的厚度和体积很小，有效的减小了继电器的尺寸；通过空气桥代替普通继电器中弹簧的功能，使得动导电片的平衡度更好，提高了继电器的稳定性；且可以将继电器加工成贴片形式，以便于与其他组件集成。

技术领域

本实用新型属于继电器技术领域，具体涉及一种微型继电器。

背景技术

继电器是一种电控制器件，通常应用于自动化的控制电路中，它实际上是用小电流去控制大电流运作的一种“自动开关”，在电路中起着自动调节、安全保护、转换电路等作用。继电器工作时，只要在线圈两端加上一定的电压，线圈中会流过一定的电流，从而产生电磁效应，通过电磁吸力将动衔铁片和静衔铁片吸合在一起，从而形成导通电路；当线圈断电后，电磁吸力也随之消失，动衔铁返回原来位置，动衔铁片和静衔铁片分离，电路断开。现有的技术中利用分离式搭建，继电器尺寸大、重量重、制作成本高，不利于小型化设备的应用。另一方面，现有的继电器内部组件组装不牢固，被撞易移动，影响继电器的使用寿命，而且还有动导电片平衡度差的缺点。

实用新型内容

本实用新型提供一种微型继电器，用于解决上述问题。

本实用新型采用的技术方案为：一种微型继电器，包括电磁铁层以及薄膜开关层；所述薄膜开关层包括TiW-Au粘附层、第一绝缘层、第二绝缘层以及设置于第一绝缘层与第二绝缘层之间的静导电片和动导电片，所述TiW-Au粘附层通过溅射技术形成于所述电磁铁层表面，所述第一绝缘层通过溅射技术形成于所述TiW-Au粘附层上，所述动导电片的一端位于所述静导电片的上方，动导电片与静导电片之间形成空气桥。

进一步的，所述动导电片包括固定部和延伸部，所述固定部设置于所述第一绝缘层上，所述静导电片设置于所述第一绝缘层上，所述动导电片的延伸部位于所述静导电片的上方。

进一步的，所述第二绝缘层上、动导电片固定部与第二绝缘层之间、静导电片的远离动导电片的一端与第二绝缘层之间、第一绝缘层上与动导电片延伸部所对应的区域，均设置有钝化层。

进一步的，所述钝化层为氧化硅钝化层。

进一步的，所述电磁铁层包括线圈以及设置于线圈内部的铁芯，所述铁芯的高度与线圈的高度相等，所述线圈设置有输入端和输出端。

进一步的，所述线圈的四周设置有隔离层，所述隔离层上设置有隔离通孔。

进一步的，所述电磁铁层是利用低温共烧铁氧体工艺形成，所述线圈是由微带线通过叠层烧结形成的垂直螺旋线圈。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型的微型继电器，线圈由微带线叠层烧结而成，TiW-Au粘附层通过溅射技术形成，静导电片和动导电片通过微电镀技术电镀而成，使得电磁铁层和薄膜开关层的厚度和体积很小，有效的减小了继电器的尺寸；通过空气桥代替普通继电器中弹簧的功能，使得动导电片的平衡度更好，提高了继电器的稳定性，延长使用寿命。本微型继电器还可以加工成贴片形式，以便于与其他组件集成。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型的电磁铁层的结构示意图；

图3是本实用新型的薄膜开关层的结构示意图。