[实用新型]一种MWT激光打孔台面

说明书

本实用新型提供一种MWT激光打孔台面，所述打孔台面包括台面本体，所述台面本体上分为实心区及镂空区，所述镂空区分布在激光孔的打孔位置处，所述实心区分布在所述镂空区域内的非打孔处，且在所述实心区上分布有真空气孔。在打孔工艺方面，先对台面进行改造，再实施打孔过程，大大降低了硅片与台面接触面积，有效降低粉尘对硅片的影响，从而能有效降低制程碎片率及隐裂。

技术领域

本实用新型涉及硅太阳能电池工艺技术领域，具体涉及到MWT硅太阳能电池制程的原辅料或耗材设计。

背景技术

目前，晶体硅太阳能技术包括异质结太阳能电池HIT，背电极接触硅太阳能电池IBC，发射极环绕穿通硅太阳能电池EWT，激光刻槽埋栅电池，倾斜蒸发金属接触硅太阳能电池OECO及金属穿孔卷绕硅太阳能电池MWT等。其中，MWT电池因其效率高，遮光面积小以及更好的外观特点受到越来越多的关注。

MWT硅太阳能电池是通过激光钻孔将正面栅线收集的载流子穿过电池转移至电池背面，以减少遮光面积来达到提高转换效率的目的。由此，为实现MWT电池结构，需要在常规电池结构中加入打孔和孔洞导通两个功能。其中，打孔目前往往采用激光打孔的方式实现；孔洞导通往往采用丝网印刷填孔浆料，然后与正面电极和铝背场共烧结实现。如专利CN201410016190.6提供了一种低成本的MWT电池制备方法，该方法在传统晶硅电池的制作流程上仅增加两道工序实现MWT电池结构，由于该方法工艺简单，设备投产少，已成为业内目前MWT电池唯一量产工艺。

在MWT电池制程中，激光打孔是第一个工序，也区别于常规电池的主要且关键工序，其目的是通过激光在硅片上制备一定数量及排布的孔洞，如图1所示的 6×6激光打孔点阵。其中，激光打孔工序所涉及的台面面板见图2，除吸附硅片所需的真空孔外，如图2所示，台面上在MWT电池打孔点阵对应位置需设定镂空的区域，如图2所示。在打孔过程中会产生硅残渣粉尘，随着产能提升，硅片厚度降低，粉尘对制程碎片率的影响逐渐突出。如何降低激光打孔对产线指标、降本提效的影响显得尤为重要。

实用新型内容

本实用新型针对上述问题的不足，提出一种MWT激光打孔降低隐裂且适合薄片生产的方法及装置。

本实用新型提供技术方案如下：一种MWT激光打孔台面，所述打孔台面包括台面本体，所述台面本体上分为实心区及镂空区，所述镂空区分布在激光孔的打孔位置处，所述实心区分布在所述镂空区域内的非打孔处，且在所述实心区上分布有真空气孔。

进一步的，所述激光孔呈矩阵状均匀分布于所述台面本体上，并且在全部激光孔整体外部边缘为实心区，所述实心区在打孔位置外形成一个闭合曲线；在所述激光孔整体的内部，也有实心区，所述实心区将全部激光孔划分为若干部分，激光孔内部的实心区与外部边缘的实心区相连同。

进一步的，所述实心区呈“田”字型分布于所述台面本体上。

进一步的，在所述打孔台面的下方为台面底座，所述台面底座中安装有真空气路，所述真空气路与所述实心区相对应，真空气孔分布于真空气路中，满足制程过程中所需的硅片吸附要求。

作为一种优选，所述实心区中均匀分布有42个真空气孔。

基于上述一种MWT激光打孔台面，本实用新型还提供激光打孔工艺，在对MWT太阳能电池片打孔前，先将MWT激光打孔工序涉及的台面面板进行大幅镂空处理，将台面加工为分为实心区和镂空区；将镂空区加工为打孔工艺的工作区，在实心区加工出真空气孔，并且，在台面下方实心区对应位置处，安装真空气路。

进一步的，所述激光孔呈矩阵状均匀分布于所述台面本体上，并且在全部激光孔整体外部边缘为实心区，所述实心区在打孔位置外形成一个闭合曲线；在所述激光孔整体的内部，也有实心区，所述实心区将全部激光孔划分为若干部分，激光孔内部的实心区与外部边缘的实心区相连同。

作为一种优选，所述实心区呈“田”字型分布于所述台面本体上。