[实用新型]硅片切片机的导轮支架

权利要求书

1.一种硅片切片机的导轮支架，其特征在于，包括芯轴和转动装置，转动装置相对于所述芯轴可转动，所述芯轴开设有供气室，所述转动装置套设于所述芯轴、且与所述芯轴共同形成出气室，所述芯轴还开设有连通于所述供气室及所述出气室之间的至少两个出气孔，所述出气孔围绕所述芯轴的轴向设置。

2.根据权利要求1所述的硅片切片机的导轮支架，其特征在于，所述芯轴具有第一气室面；所述转动装置包括转盘，所述转盘具有第二气室面，所述第二气室面与所述第一气室面间隔设置，所述出气室位于所述第一气室面与所述第二气室面之间。

3.根据权利要求2所述的硅片切片机的导轮支架，其特征在于，所述第一气室面与所述芯轴的中心轴之间的夹角为第一夹角，所述第二气室面与所述芯轴的中心轴之间的夹角为第二夹角，所述第一夹角与所述第二夹角不同。

4.根据权利要求3所述的硅片切片机的导轮支架，其特征在于，所述第一夹角为10-20度，所述第二夹角为40-60度。

5.根据权利要求1所述的硅片切片机的导轮支架，其特征在于，所述供气室沿所述芯轴的轴向设置，所述出气孔贯穿所述供气室的内壁及所述芯轴的外缘。

6.根据权利要求1所述的硅片切片机的导轮支架，其特征在于，所述出气室的端部具有供所述出气室中气体流出的排气间隙，所述排气间隙沿芯轴的轴向设置。

7.根据权利要求2所述的硅片切片机的导轮支架，其特征在于，所述转动装置具有相对设置的第一线槽板和第二线槽板；所述第一线槽板和第二线槽板均相对于所述芯轴的中心轴线向外延伸，所述第一线槽板与所述第二线槽板之间形成线槽。

8.根据权利要求7所述的硅片切片机的导轮支架，其特征在于，所述第一线槽板位于所述转盘的圆周，所述转动装置还包括压盖，所述压盖位于所述转盘的端部，所述第二线槽板位于所述转盘或者压盖。

9.根据权利要求8所述的硅片切片机的导轮支架，其特征在于，所述转动装置还包括将所述转盘安装到所述芯轴的轴承；所述转动装置还包括安装于所述芯轴一端以密封所述轴承的盖板，所述盖板位于所述转盘及所述压盖之间。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的硅片切片机的导轮支架，其特征在于，所述出气孔围绕所述芯轴的轴向均匀间隔设置。