[实用新型]一种基于光致导电电极板的电化学加工装置有效
| 申请号： | 201920386837.2 | 申请日： | 2019-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN209969804U | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | 邓宇;梁广洋;岑腾飞;郭钟宁;谭蓉 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学;佛山市铬维科技有限公司 |
| 主分类号： | B23H3/02 | 分类号： | B23H3/02 |
| 代理公司： | 44202 广州三环专利商标代理有限公司 | 代理人： | 胡枫 |
| 地址： | 510006 广东省广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 导电层 电极板 供电电源 光照系统 电化学加工装置 本实用新型 待加工工件 导电电极板 电化学加工 电连接 照射 电极板表面 微阵列结构 导电区 电解液 光透过 绝缘区 微阵列 导电 掩膜 光源 生产成本 光照 节约 制作 加工 | ||
1.一种基于光致导电电极板的电化学加工装置，其特征在于，包括供电电源、电解液、与所述供电电源电连接的待加工工件、与所述供电电源电连接的电极板、位于所述电极板表面靠近所述待加工工件一侧的光致导电层、用于照射电极板的光照系统以及用于控制所述光照系统的控制机构；
所述电极板为透明电极板，所述光照系统发出微阵列光透过所述电极板照射在所述光致导电层的部分表面上，在所述光致导电层上形成绝缘区和导电区；
其中，所述绝缘区为所述光致导电层上未被所述光照系统照射到的区域，所述导电区为所述光致导电层上被所述光照系统照射到的区域；
所述电解液为中性、碱性或酸性电解液；
通电后，在所述待加工工件与所述导电区之间产生电化学反应，所述待加工工件上与所述导电区相对应的位置被溶解成金属盐，从而在待加工工件的表面形成微孔结构。
2.如权利要求1所述的基于光致导电电极板的电化学加工装置，其特征在于，所述光致导电层由金属光电材料或高分子光电材质制成。
3.如权利要求1或2所述的基于光致导电电极板的电化学加工装置，其特征在于，所述光致导电层由硒、硒碲合金、硫化镉、氧化锌或聚乙烯咔唑制成。
4.如权利要求1所述的基于光致导电电极板的电化学加工装置，其特征在于，所述电极板由导电玻璃或导电塑料制成。
5.如权利要求1所述的基于光致导电电极板的电化学加工装置，其特征在于，所述光照系统为微阵列光源，其照射于所述光致导电层上后，在所述光致导电层上形成了微阵列导电区。
6.如权利要求1所述的基于光致导电电极板的电化学加工装置，其特征在于，所述供电电源为直流电源，所述光照系统为脉冲光源。
7.如权利要求1所述的基于光致导电电极板的电化学加工装置，其特征在于，所述供电电源包括正极和负极；
所述待加工工件与所述供电电源的负极电连接；
所述电极板与所述供电电源的正极电连接。
8.如权利要求1所述的基于光致导电电极板的电化学加工装置，其特征在于，所述供电电源为脉冲电源。
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