[实用新型]一种用于硅棒定向的装置

说明书

本实用新型涉及一种用于硅棒定向的装置，包括X射线检测装置和固设在X射线检测装置下方的进给装置，所述进给装置包括固定座和进给滑板，所述进给滑板的下表面的两侧设有滑轨槽，且固定座上固设有与所述进给滑板相配合的滑轨，所述滑轨之间安装有与所述进给滑板相固定的丝杠，所述丝杠与驱动装置连接，X射线检测装置可随进给滑板在滑轨上移动，具有移动灵活、定向精准的特点。

技术领域

本实用新型属于半导体行业硅棒检测技术领域，具体地说涉及一种用于硅棒定向的装置。

背景技术

半导体滚圆机对硅棒进行滚圆磨削时，除了对硅棒进行粗磨、精磨加工外，还需要对硅棒磨OF面或开V槽，为下道工序做准备。而OF面或V槽的加工位置需要通过对硅棒定向来实现。因此，怎样实现对硅棒的精准定向是我们需要解决的问题。

实用新型内容

针对现有技术的种种不足，现提出一种能够将硅棒精准定向的装置。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种用于硅棒定向的装置，包括X射线检测装置和固设在X射线检测装置下方的进给装置，所述进给装置包括固定座和进给滑板，所述进给滑板的下表面的两侧设有滑轨槽，且固定座上固设有与所述进给滑板相配合的滑轨，所述滑轨之间安装有与所述进给滑板相固定的丝杠，所述丝杠与驱动装置连接，X射线检测装置可随进给滑板在滑轨上移动。

进一步，所述X射线检测装置包括检测箱，所述检测箱内安装有微安表，所述检测箱的一侧固设有检测板，所述检测板自上到下依次安装X射线探测器和X射线发射管，且所述检测板的外围安装有探头保护罩以保护X射线探测器和X射线发射管。

进一步，所述驱动装置为电机，所述丝杠通过支撑座与所述固定座相固定，且其一端与电机输出端相连接。

进一步，所述电机通过电机安装板与所述固定座相固定，所述电机安装板上设有供电机输出端贯穿的通孔，所述电机输出端贯穿通孔后与所述电机安装板通过螺栓固定。

进一步，所述进给滑板与丝杠相平行的两侧安装有防护板，且所述电机的外侧安装有电机防护罩。

进一步，所述进给滑板与所述电机护罩之间安装有第一风琴护罩，且其与固定座远离电机的一端之间安装有第二风琴护罩，用以防护所述滑轨与进给丝杠。

进一步，所述进给装置固设在检测支架上，所述固定座的下表面与检测装置的上表面固定连接，所述检测支架的纵截面为三角形。

本实用新型的有益效果是：

1、X射线检测装置安装在检测滑板上，进给滑板通过电机带动丝杠实现运动，以满足不同硅棒尺寸、不同晶向的定向需求。

2、进给滑板的两侧在于滑轨一致的方向上安装有第一风琴护罩和第二风琴护罩，同时，进给滑板与丝杠相平行的两侧安装有防护板，能够有效的保护丝杠和进给滑板，防止灰尘以及硅棒加工过程中的费屑进入到进给滑板以及滑轨内，有效的保护进给装置，延长设备的使用寿命。

3、电机通过电机安装板与固定座通过螺栓有效的固定，防止在工作过程中电机的位移，提高设备的精确性。

4、X射线检测装置包括微安表、X射线探测管和X射线发射管，结构简单，是硅棒定向的核心部件，其定向精准，为后续OF面或V槽的加工位置提供可靠依据。

5、X射线探测管探头和X射线发射管外设有探头保护罩，能够有效的保护X射线探测管探头和X射线发射管。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图；

图2是进给装置的结构示意图；

图3是进给装置的另一结构示意图；