[实用新型]一种承载装置

权利要求书

1.一种承载装置，其特征在于，包括：

吸盘(1)，所述吸盘(1)上设有用于吸附待测物(5)的吸附部；

承载块(103)，所述承载块(103)可滑动的设置在所述吸盘(1)的吸附部外围；

驱动部件，用于带动所述承载块(103)沿垂直于所述吸盘(1)表面的方向移动。

2.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，还包括弹性组件，所述弹性组件用于带动所述承载块(103)移动至所述吸盘(1)的吸附面以下。

3.根据权利要求2所述的承载装置，其特征在于，所述吸盘(1)包括用于放置所述待测物(5)的承载盘(101)以及用于与所述承载盘(101)之间形成真空腔以吸附所述待测物(5)的真空腔体(102)；所述驱动部件与所述真空腔体(102)之间还设有同步架(201)和安装在所述同步架(201)上的上顶块(202)，所述真空腔体(102)上设有供所述上顶块(202)贯穿后可与所述承载块(103)接触连接的第一通孔。

4.根据权利要求3所述的承载装置，其特征在于，所述弹性组件包括与所述承载块(103)连接的连接块(104)、一端贯穿所述同步架(201)后与所述连接块(104)连接的导向杆(107)以及贯穿在所述导向杆(107)上的弹簧(106)；所述上顶块(202)贯穿所述第一通孔后与所述连接块(104)接触连接；所述弹簧(106)的一端与所述真空腔体(102)的下端面抵接，另一端与所述导向杆(107)的端帽抵接。

5.根据权利要求4所述的承载装置，其特征在于，还包括：直线轴承(105)，所述直线轴承(105)采用过盈装配压入所述真空腔体(102)的安装孔内，所述导向杆(107)可在所述直线轴承(105)内滑动。

6.根据权利要求3所述的承载装置，其特征在于，所述承载盘(101)上设有多阶梯状气孔，并且所述气孔的直径自靠近所述真空腔体(102)的一侧向另一侧依次降低。

7.根据权利要求3所述的承载装置，其特征在于，所述真空腔体(102)上设有环形密封沟槽(108)，所述密封沟槽(108)内安装有密封圈。

8.根据权利要求3所述的承载装置，其特征在于，所述同步架(201)与所述驱动部件之间通过螺杆、调整垫(203)和保持环(204)连接，所述螺杆安装在所述驱动部件上，所述保持环(204)套设在所述螺杆上，所述调整垫(203)为弹性垫，所述调整垫(203)套设在所述保持环(204)的外周部，且所述调整垫(203)的高度大于所述保持环(204)的高度。

9.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述驱动部件上还安装有用于改变所述待测物(5)的升降速度的流量调节阀。

10.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，还包括：用于反馈所述待测物(5)的升降是否到位的位置传感器。

11.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述承载块(103)的材料为防静电POM塑料。

12.根据权利要求1至11任意一项所述的承载装置，其特征在于，所述待测物(5)为晶圆胶膜框架，所述晶圆胶膜框架包括：胶膜、用于支撑所述胶膜的框架和贴于所述胶膜表面的晶圆；所述承载块(103)用于放置所述框架，并带动所述待测物移动；所述吸附部用于吸附贴有晶圆的胶膜。