[实用新型]一种基于QMEMS工艺的压电石英频率片腐蚀机

权利要求书

1.一种基于QMEMS工艺的压电石英频率片腐蚀机，其特征在于，包括：

壳体；

旋转平台，其通过安装支架安装于所述壳体底部；

用于储存腐蚀液的腐蚀槽，其设置在旋转平台上；

用于清洗石英晶片的喷淋清洗池，其具有用于冲洗喷淋的喷头，喷淋清洗池安装在旋转平台上，且所述喷淋清洗池和腐蚀槽对称安装于旋转平台旋转轴两侧；

浸泡清洗池，其设置在旋转平台上，且位于腐蚀槽和喷淋清洗池中心轴线一侧；

位于壳体上部的升降电机，其下端安装有放置石英晶片的晶片篮，晶片篮与升降电机通过支架连接，所述升降电机位于旋转平台的上方，且可通过升降电机将石英晶片伸入腐蚀槽、浸泡清洗池或喷淋清洗池对石英晶片进行处理。

2.如权利要求1所述的基于QMEMS工艺的压电石英频率片腐蚀机，其特征在于，所述腐蚀槽底部设有腐蚀液加热装置，用于给腐蚀液加热。

3.如权利要求1所述的基于QMEMS工艺的压电石英频率片腐蚀机，其特征在于，所述旋转平台下部设有安装支架，所述安装支架上方安装有旋转轴，旋转平台连接旋转电机绕旋转轴旋转。

4.如权利要求1所述的基于QMEMS工艺的压电石英频率片腐蚀机，其特征在于，所述壳体内部安装有温度控制器、时间控制器和频率监控仪；其中，所述温度控制器通过数据线分别与升降电机、时间控制器和频率监控仪连接，所述时间控制器通过数据线与频率监控仪连接，所述频率监控仪通过数据线与升降电机连接。

5.如权利要求4所述的基于QMEMS工艺的压电石英频率片腐蚀机，其特征在于，所述腐蚀槽内部具有温度探头，所述温度探头通过数据线与温度控制器连接。

6.如权利要求1所述的基于QMEMS工艺的压电石英频率片腐蚀机，其特征在于所述腐蚀槽底部安装有平桨搅拌器。

7.如权利要求1所述的基于QMEMS工艺的压电石英频率片腐蚀机，其特征在于，所述喷淋清洗池的喷头安装于喷淋清洗池的内壁及底部。