[实用新型]可稳定立式放置探针卡的治具

说明书

本实用新型实施例公开了一种可稳定立式放置探针卡的治具。本实用新型的可稳定立式放置探针卡的治具，包括：底座、固定挡板和两根支撑柱。固定挡板包括：横板部和竖板部，横板部设置在底座的上侧面上，竖板部垂直于横板部，两根支撑柱间隔设置，与底座连接，位于与固定挡板相对的一侧，支撑柱的顶部与固定挡板的距离小于探针卡的直径，且支撑柱的顶面为斜面。本实用新型的治具，探针卡放置时，探针卡的侧边抵持在固定挡板上，探针卡的侧面抵靠在支撑柱的顶面上，使探针卡倾斜立式放置在治具上，通过显微镜即可观看检测探针卡上的探针，探针卡在治具上不会滑动，方便了对探针卡的探针的检测。

技术领域

本实用新型实施例涉及探针卡技术领域，具体涉及一种可稳定立式放置探针卡的治具。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。

芯片是指内含集成电路的硅片，体积很小，常常是计算机或其他电子设备的一部分，晶圆是制造芯片的原材料。制作完成的芯片通过探针卡(Probe card)进行电学性能检测，筛选出制作不良的芯片，经检测合格的芯片再进行后续的封装制程。用于检测芯片的探针卡(Probe card)需定期通过显微镜对位于探针卡中部的探针进行检测、维修。

本申请的发明人发现，现有技术中对探针卡的探针检测时，探针位于探针卡的中部，需将探针卡倾斜立式放置在海绵靠垫上，才能通过显微镜检测。因海绵靠垫易滑动，使得探针卡摆放不稳，不方便探针卡的检测，且易造成探针卡的损坏。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种可稳定立式放置探针卡的治具，使探针卡摆放稳定，方便对探针卡的探针的检测。

本实用新型实施例提供一种可稳定立式放置探针卡的治具，包括：底座、固定挡板和两根支撑柱；

所述固定挡板呈L型，包括：横板部和竖板部；

所述横板部设置在所述底座的上侧面上，与所述底座连接；

所述竖板部垂直于所述横板部，且所述竖板部位于所述底座的外侧；

所述固定挡板用于与探针卡的侧边抵持，且探针卡的侧边抵持于所述横板部与所述竖板部的连接处；

所述两根支撑柱间隔设置，与所述底座连接，且所述两根支撑柱位于与所述固定挡板相对的一侧；

所述两根支撑柱的顶部与所述固定挡板的距离小于探针卡的直径，且所述两根支撑柱的顶面为斜面，所述斜面的高点远离所述固定挡板；

所述两根支撑柱用于与探针卡的侧面抵持。

在一种可行的方案中，所述横板部上设有多个第一螺纹孔，所述底座上设有多个第二螺纹孔；

所述多个第一螺纹孔与所述多个第二螺纹孔对应，使所述横板部通过螺栓与所述底座可拆卸连接。

在一种可行的方案中，所述第一螺纹孔为台阶孔，所述横板部与所述底座连接时，使螺栓的顶面嵌入所述台阶孔。

在一种可行的方案中，所述多个第二螺纹孔设有多组；

多组所述第二螺纹孔间隔设置在所述底座上，用于调节所述横板部与所述支撑柱的距离。

在一种可行的方案中，所述竖板部设有限位卡槽，探针卡的侧边抵持于所述限位卡槽内。

在一种可行的方案中，所述底座的侧面设有第三螺纹孔；

所述支撑柱设有第四螺纹孔，所述第四螺纹孔贯穿所述支撑柱，使所述支撑柱通过螺栓与所述底座可拆卸连接。