[实用新型]可稳定立式放置探针卡的治具有效

专利信息
申请号: 201920221229.6 申请日: 2019-02-21
公开(公告)号: CN209673858U 公开(公告)日: 2019-11-22
发明(设计)人: 刘旭邦;阮智超 申请(专利权)人: 紫光宏茂微电子(上海)有限公司
主分类号: G01R1/04 分类号: G01R1/04;G01R1/067;G01N21/84;G01N21/01
代理公司: 31285 上海市嘉华律师事务所 代理人: 黄琮;傅云<国际申请>=<国际公布>=<
地址: 201700 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 探针卡 固定挡板 支撑柱 治具 本实用新型 立式放置 横板部 竖板部 探针 底座 底座连接 间隔设置 检测探针 上侧面 滑动 侧边 抵持 顶面 显微镜 垂直 侧面 检测 观看
【权利要求书】:

1.一种可稳定立式放置探针卡的治具,其特征在于,包括:底座、固定挡板和两根支撑柱;

所述固定挡板呈L型,包括:横板部和竖板部;

所述横板部设置在所述底座的上侧面上,与所述底座连接;

所述竖板部垂直于所述横板部,且所述竖板部位于所述底座的外侧;

所述固定挡板用于与探针卡的侧边抵持,且探针卡的侧边抵持于所述横板部与所述竖板部的连接处;

所述两根支撑柱间隔设置,与所述底座连接,且所述两根支撑柱位于与所述固定挡板相对的一侧;

所述两根支撑柱的顶部与所述固定挡板的距离小于探针卡的直径,且所述两根支撑柱的顶面为斜面,所述斜面的高点远离所述固定挡板;

所述两根支撑柱用于与探针卡的侧面抵持。

2.根据权利要求1所述的可稳定立式放置探针卡的治具,其特征在于,所述横板部上设有多个第一螺纹孔,所述底座上设有多个第二螺纹孔;

所述多个第一螺纹孔与所述多个第二螺纹孔对应,使所述横板部通过螺栓与所述底座可拆卸连接。

3.根据权利要求2所述的可稳定立式放置探针卡的治具,其特征在于,所述第一螺纹孔为台阶孔,所述横板部与所述底座连接时,使螺栓的顶面嵌入所述台阶孔。

4.根据权利要求2所述的可稳定立式放置探针卡的治具,其特征在于,所述多个第二螺纹孔设有多组;

多组所述第二螺纹孔间隔设置在所述底座上,用于调节所述横板部与所述支撑柱的距离。

5.根据权利要求1所述的可稳定立式放置探针卡的治具,其特征在于,所述竖板部设有限位卡槽,探针卡的侧边抵持于所述限位卡槽内。

6.根据权利要求1所述的可稳定立式放置探针卡的治具,其特征在于,所述底座的侧面设有第三螺纹孔;

所述支撑柱设有第四螺纹孔,所述第四螺纹孔贯穿所述支撑柱,使所述支撑柱通过螺栓与所述底座可拆卸连接。

7.根据权利要求6所述的可稳定立式放置探针卡的治具,其特征在于,所述第三螺纹孔设有多个,所述多个第三螺纹孔间隔设置,用于调节所述两根支撑柱之间的距离。

8.根据权利要求1所述的可稳定立式放置探针卡的治具,其特征在于,所述支撑柱的顶面的倾斜角度为45°。

9.根据权利要求1所述的可稳定立式放置探针卡的治具,其特征在于,所述支撑柱包括:固定部和支撑部;

所述固定部与所述底座连接,所述固定部的上端设有第五螺纹孔;

所述支撑部的下端设有连接柱,所述连接柱设有外螺纹,使所述连接柱啮合于所述第五螺纹孔。

10.根据权利要求1所述的可稳定立式放置探针卡的治具,其特征在于,所述支撑柱的顶面设有缓冲垫。

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