[实用新型]可稳定立式放置探针卡的治具有效
申请号: | 201920221229.6 | 申请日: | 2019-02-21 |
公开(公告)号: | CN209673858U | 公开(公告)日: | 2019-11-22 |
发明(设计)人: | 刘旭邦;阮智超 | 申请(专利权)人: | 紫光宏茂微电子(上海)有限公司 |
主分类号: | G01R1/04 | 分类号: | G01R1/04;G01R1/067;G01N21/84;G01N21/01 |
代理公司: | 31285 上海市嘉华律师事务所 | 代理人: | 黄琮;傅云<国际申请>=<国际公布>=< |
地址: | 201700 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 探针卡 固定挡板 支撑柱 治具 本实用新型 立式放置 横板部 竖板部 探针 底座 底座连接 间隔设置 检测探针 上侧面 滑动 侧边 抵持 顶面 显微镜 垂直 侧面 检测 观看 | ||
1.一种可稳定立式放置探针卡的治具,其特征在于,包括:底座、固定挡板和两根支撑柱;
所述固定挡板呈L型,包括:横板部和竖板部;
所述横板部设置在所述底座的上侧面上,与所述底座连接;
所述竖板部垂直于所述横板部,且所述竖板部位于所述底座的外侧;
所述固定挡板用于与探针卡的侧边抵持,且探针卡的侧边抵持于所述横板部与所述竖板部的连接处;
所述两根支撑柱间隔设置,与所述底座连接,且所述两根支撑柱位于与所述固定挡板相对的一侧;
所述两根支撑柱的顶部与所述固定挡板的距离小于探针卡的直径,且所述两根支撑柱的顶面为斜面,所述斜面的高点远离所述固定挡板;
所述两根支撑柱用于与探针卡的侧面抵持。
2.根据权利要求1所述的可稳定立式放置探针卡的治具,其特征在于,所述横板部上设有多个第一螺纹孔,所述底座上设有多个第二螺纹孔;
所述多个第一螺纹孔与所述多个第二螺纹孔对应,使所述横板部通过螺栓与所述底座可拆卸连接。
3.根据权利要求2所述的可稳定立式放置探针卡的治具,其特征在于,所述第一螺纹孔为台阶孔,所述横板部与所述底座连接时,使螺栓的顶面嵌入所述台阶孔。
4.根据权利要求2所述的可稳定立式放置探针卡的治具,其特征在于,所述多个第二螺纹孔设有多组;
多组所述第二螺纹孔间隔设置在所述底座上,用于调节所述横板部与所述支撑柱的距离。
5.根据权利要求1所述的可稳定立式放置探针卡的治具,其特征在于,所述竖板部设有限位卡槽,探针卡的侧边抵持于所述限位卡槽内。
6.根据权利要求1所述的可稳定立式放置探针卡的治具,其特征在于,所述底座的侧面设有第三螺纹孔;
所述支撑柱设有第四螺纹孔,所述第四螺纹孔贯穿所述支撑柱,使所述支撑柱通过螺栓与所述底座可拆卸连接。
7.根据权利要求6所述的可稳定立式放置探针卡的治具,其特征在于,所述第三螺纹孔设有多个,所述多个第三螺纹孔间隔设置,用于调节所述两根支撑柱之间的距离。
8.根据权利要求1所述的可稳定立式放置探针卡的治具,其特征在于,所述支撑柱的顶面的倾斜角度为45°。
9.根据权利要求1所述的可稳定立式放置探针卡的治具,其特征在于,所述支撑柱包括:固定部和支撑部;
所述固定部与所述底座连接,所述固定部的上端设有第五螺纹孔;
所述支撑部的下端设有连接柱,所述连接柱设有外螺纹,使所述连接柱啮合于所述第五螺纹孔。
10.根据权利要求1所述的可稳定立式放置探针卡的治具,其特征在于,所述支撑柱的顶面设有缓冲垫。
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