[实用新型]环抛中抛光液的循环供液装置有效

专利信息
申请号: 201920220986.1 申请日: 2019-02-21
公开(公告)号: CN209850697U 公开(公告)日: 2019-12-27
发明(设计)人: 廖德锋;王乙任;谢瑞清;赵世杰;周炼;陈贤华;张飞虎;张清华;王健;许乔 申请(专利权)人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
主分类号: B24B57/02 分类号: B24B57/02
代理公司: 11465 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 代理人: 曹鹏飞
地址: 621900*** 国省代码: 四川;51
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 供液器 抛光液 连通 喷嘴 可转换 供液管路 环抛机 回收泵 回收桶 控制柜 截止 预设 非均匀温度场 循环供液装置 本实用新型 电性连接 光学元件 间距布置 循环利用 元件表面 变形的 不均匀 多工位 供液管 抛光盘 散热 单点 桥架 加工 变形
【权利要求书】:

1.环抛中抛光液的循环供液装置,其搭载于环抛机上,其特征在于,包括:

供液器(1),用于储存、供给抛光液,其设置于所述环抛机外部;

供液管路(2),所述供液管路(2)与所述供液器(1)可转换连通或截止,且其固定于所述环抛机的多工位桥架上;

喷嘴(3),所述喷嘴(3)包括多个,按照预设间距布置于所述供液管路(2)上,且与所述供液管路(2)可转换连通或截止;

回收桶(4),所述回收桶(4)连接于环抛机的抛光盘底部;

回收泵(5),所述回收泵(5)通过管路与所述回收桶(4)连通,且与所述供液器(1)可转换连通或截止;

及控制柜(6),所述供液器(1)、所述喷嘴(3)和所述回收泵(5)均与所述控制柜(6)电性连接。

2.根据权利要求1所述的环抛中抛光液的循环供液装置,其特征在于,所述供液器(1)包括储液桶(11)和供液泵(12);所述供液泵(12)固定于所述储液桶(11)上并与其内部连通;且所述供液泵(12)的出口与所述供液管路(2)可转换连通或截止,所述供液泵(12)与所述控制柜(6)电性连接。

3.根据权利要求2所述的环抛中抛光液的循环供液装置,其特征在于,所述储液桶(11)为恒温储液桶;其内部设置有热交换管路,外部设置有控制所述热交换管路温度的温控器(111);所述温控器(111)与所述控制柜(6)电性连接。

4.根据权利要求3所述的环抛中抛光液的循环供液装置,其特征在于,所述储液桶(11)中安装有液位传感器和温度传感器,所述液位传感器和所述温度传感器均与所述控制柜(6)电性连接。

5.根据权利要求3所述的环抛中抛光液的循环供液装置,其特征在于,所述储液桶(11)底部安装有搅拌器,所述搅拌器与所述控制柜(6)电性连接。

6.根据权利要求1所述的环抛中抛光液的循环供液装置,其特征在于,每一个所述喷嘴(3)上均设置有流量调节开关,所述流量调节开关与所述控制柜(6)电性连接。

7.根据权利要求1所述的环抛中抛光液的循环供液装置,其特征在于,所述回收桶(4)顶部具有与其连通的环形的回收槽(7),所述回收槽(7)固定于抛光盘周围。

8.根据权利要求7所述的环抛中抛光液的循环供液装置,其特征在于,还包括清扫隔板(8),所述清扫隔板(8)连接于抛光盘侧壁与所述抛光盘一起旋转,且可清扫所述回收槽(7)内的抛光液。

9.根据权利要求8所述的环抛中抛光液的循环供液装置,其特征在于,所述回收桶(4)内设置有液位探头,所述液位探头与所述控制柜(6)电性连接。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国工程物理研究院激光聚变研究中心,未经中国工程物理研究院激光聚变研究中心许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201920220986.1/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top