[实用新型]环抛中抛光液的循环供液装置有效
申请号: | 201920220986.1 | 申请日: | 2019-02-21 |
公开(公告)号: | CN209850697U | 公开(公告)日: | 2019-12-27 |
发明(设计)人: | 廖德锋;王乙任;谢瑞清;赵世杰;周炼;陈贤华;张飞虎;张清华;王健;许乔 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
主分类号: | B24B57/02 | 分类号: | B24B57/02 |
代理公司: | 11465 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人: | 曹鹏飞 |
地址: | 621900*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 供液器 抛光液 连通 喷嘴 可转换 供液管路 环抛机 回收泵 回收桶 控制柜 截止 预设 非均匀温度场 循环供液装置 本实用新型 电性连接 光学元件 间距布置 循环利用 元件表面 变形的 不均匀 多工位 供液管 抛光盘 散热 单点 桥架 加工 变形 | ||
1.环抛中抛光液的循环供液装置,其搭载于环抛机上,其特征在于,包括:
供液器(1),用于储存、供给抛光液,其设置于所述环抛机外部;
供液管路(2),所述供液管路(2)与所述供液器(1)可转换连通或截止,且其固定于所述环抛机的多工位桥架上;
喷嘴(3),所述喷嘴(3)包括多个,按照预设间距布置于所述供液管路(2)上,且与所述供液管路(2)可转换连通或截止;
回收桶(4),所述回收桶(4)连接于环抛机的抛光盘底部;
回收泵(5),所述回收泵(5)通过管路与所述回收桶(4)连通,且与所述供液器(1)可转换连通或截止;
及控制柜(6),所述供液器(1)、所述喷嘴(3)和所述回收泵(5)均与所述控制柜(6)电性连接。
2.根据权利要求1所述的环抛中抛光液的循环供液装置,其特征在于,所述供液器(1)包括储液桶(11)和供液泵(12);所述供液泵(12)固定于所述储液桶(11)上并与其内部连通;且所述供液泵(12)的出口与所述供液管路(2)可转换连通或截止,所述供液泵(12)与所述控制柜(6)电性连接。
3.根据权利要求2所述的环抛中抛光液的循环供液装置,其特征在于,所述储液桶(11)为恒温储液桶;其内部设置有热交换管路,外部设置有控制所述热交换管路温度的温控器(111);所述温控器(111)与所述控制柜(6)电性连接。
4.根据权利要求3所述的环抛中抛光液的循环供液装置,其特征在于,所述储液桶(11)中安装有液位传感器和温度传感器,所述液位传感器和所述温度传感器均与所述控制柜(6)电性连接。
5.根据权利要求3所述的环抛中抛光液的循环供液装置,其特征在于,所述储液桶(11)底部安装有搅拌器,所述搅拌器与所述控制柜(6)电性连接。
6.根据权利要求1所述的环抛中抛光液的循环供液装置,其特征在于,每一个所述喷嘴(3)上均设置有流量调节开关,所述流量调节开关与所述控制柜(6)电性连接。
7.根据权利要求1所述的环抛中抛光液的循环供液装置,其特征在于,所述回收桶(4)顶部具有与其连通的环形的回收槽(7),所述回收槽(7)固定于抛光盘周围。
8.根据权利要求7所述的环抛中抛光液的循环供液装置,其特征在于,还包括清扫隔板(8),所述清扫隔板(8)连接于抛光盘侧壁与所述抛光盘一起旋转,且可清扫所述回收槽(7)内的抛光液。
9.根据权利要求8所述的环抛中抛光液的循环供液装置,其特征在于,所述回收桶(4)内设置有液位探头,所述液位探头与所述控制柜(6)电性连接。
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