[实用新型]一种用于高频率微尺度声表面波器件测试的装置

说明书

本实用新型公开了一种用于高频率微尺度声表面波器件测试的装置，包括真空手套箱、微型手动探针测试台和矢量网络分析仪,所述真空手套箱包括真空手套箱箱体和机械泵，所述微型手动探针测试台包括载台机构、探针机构和显微镜机构，所述载台机构包括工作台、载物台和卡盘，两个探针分别为输入探针和输出探针，所述矢量网络分析仪的输出测试端口通过输出导线与所述输出探针连接，所述矢量网络分析仪的输入测试端口通过输入导线与所述输入探针连接。本实用新型结构简单，设计合理，成本低，增强了高频率微尺度声表面波器件测试的可靠性，确保高频率微尺度声表面波器件失效测试准确性，实用性强。

技术领域

本实用新型属于高频率微尺度声表面波器件失效测试技术领域，具体涉及一种用于高频率微尺度声表面波器件测试的装置。

背景技术

近年来，高频率微尺度声表面波器件在数字移动通信高频系统中得到了广泛应用。随着无线电通信频带资源的日益紧张，对于高频(2.5GHz-1000GHz)声表面波器件的需求越来越高。

随着科学技术的进步和工业生产的发展，高频率微尺度声表面波器件趋于多元化，相应的对于高频率微尺度声表面波器件测试系统的要求也越来越高。因此，高频用于高频率微尺度声表面波器件测试的装置研究将是影响整个高频率微尺度声表面波器件研究、应用的关键。在对高频率微尺度声表面波器件的测试中，随着高频率微尺度声表面波器件尺寸的缩小，空气中的水分、灰尘等杂质因子会附着在探针上，对器件参数的影响不能忽略，并且这还会腐蚀探针台的部件，降低其使用时限，不利于成本的节约。因此，现如今缺少一种结构简单、设计合理的用于高频率微尺度声表面波器件测试的装置，增强了高频率微尺度声表面波器件测试的可靠性，确保声表面波器件失效测试准确性。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于针对上述现有技术中的不足，提供一种用于高频率微尺度声表面波器件测试的装置，其结构简单，设计合理，成本低，增强了高频率微尺度声表面波器件测试的可靠性，确保声表面波器件失效测试准确性，实用性强。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种用于高频率微尺度声表面波器件测试的装置，其特征在于：包括真空手套箱、设置在所述真空手套箱内且供待测试声表面波器件安装的微型手动探针测试台和与所述真空手套箱连接的矢量网络分析仪,所述真空手套箱包括真空手套箱箱体和与所述真空手套箱箱体连接的机械泵，所述真空手套箱箱体的前侧面设置有供测试者手部插入且对所述微型手动探针测试台进行操作的手套孔，所述真空手套箱箱体的顶部设置有观察窗；

所述微型手动探针测试台包括载台机构、设置在所述载台机构上的探针机构和显微镜机构，所述载台机构包括水平放置的工作台、安装在工作台上的载物台和安装在载物台上且供待测试声表面波器件放置的卡盘，所述探针机构包括对称设置在载物台两侧的探针工作台、设置在探针工作台上的探针座和一端安装在探针座上且另一端延伸至卡盘上的探针，所述显微镜机构包括由上至下依次布设的目镜、镜筒、物镜转换器和设置物镜转换器下方且位于卡盘上方的物镜，以及调节物镜靠近或者远离卡盘的细准焦螺旋和粗准焦螺旋，所述物镜转换器通过旋转轴固定在镜筒的底部，所述物镜的数量为多个；

两个探针分别为输入探针和输出探针，所述矢量网络分析仪的输出测试端口通过输出导线与所述输出探针连接，所述矢量网络分析仪的输入测试端口通过输入导线与所述输入探针连接。

上述的一种用于高频率微尺度声表面波器件测试的装置，其特征在于：所述真空手套箱箱体的一侧面设置有第一气密封玻璃烧结航空插头接口和第二气密封玻璃烧结航空插头接口，所述输入探针的一端设置有第一连接导线，所述输出探针的一端设置有第二连接导线，所述第一连接导线和第二连接导线分别通过探针转接头与第一气密封玻璃烧结航空插头接口和第二气密封玻璃烧结航空插头接口位于真空手套箱箱体内的一端连接，所述输入导线与第一气密封玻璃烧结航空插头接口位于真空手套箱箱体外的另一端连接，所述输出导线和第二气密封玻璃烧结航空插头接口位于真空手套箱箱体外的另一端连接。