[实用新型]一种用于高频率微尺度声表面波器件测试的装置

权利要求书

1.一种用于高频率微尺度声表面波器件测试的装置，其特征在于：包括真空手套箱、设置在所述真空手套箱内且供待测试声表面波器件安装的微型手动探针测试台(2)和与所述真空手套箱连接的矢量网络分析仪(3),所述真空手套箱包括真空手套箱箱体(1)和与所述真空手套箱箱体(1)连接的机械泵(4)，所述真空手套箱箱体(1)的前侧面设置有供测试者手部插入且对所述微型手动探针测试台(2)进行操作的手套孔(9)，所述真空手套箱箱体(1)的顶部设置有观察窗(8)；

所述微型手动探针测试台(2)包括载台机构、设置在所述载台机构上的探针机构和显微镜机构，所述载台机构包括水平放置的工作台(14)、安装在工作台(14)上的载物台(18)和安装在载物台(18)上且供待测试声表面波器件放置的卡盘(15)，所述探针机构包括对称设置在载物台(18)两侧的探针工作台(19)、设置在探针工作台(19)上的探针座(20)和一端安装在探针座(20)上且另一端延伸至卡盘(15)上的探针(27)，所述显微镜机构包括由上至下依次布设的目镜(21)、镜筒(34)、物镜转换器(24)和设置物镜转换器(24)下方且位于卡盘(15)上方的物镜(37)，以及调节物镜(37)靠近或者远离卡盘(15)的细准焦螺旋(22)和粗准焦螺旋(23)，所述物镜转换器(24)通过旋转轴固定在镜筒(34)的底部，所述物镜(37)的数量为多个；

两个探针(27)分别为输入探针和输出探针，所述矢量网络分析仪(3)的输出测试端口(29)通过输出导线(11-2)与所述输出探针连接，所述矢量网络分析仪(3)的输入测试端口(30)通过输入导线(11-1)与所述输入探针连接。

2.按照权利要求1所述的一种用于高频率微尺度声表面波器件测试的装置，其特征在于：所述真空手套箱箱体(1)的一侧面设置有第一气密封玻璃烧结航空插头接口(10-1)和第二气密封玻璃烧结航空插头接口(10-2)，所述输入探针的一端设置有第一连接导线(33-1)，所述输出探针的一端设置有第二连接导线(33-2)，所述第一连接导线(33-1)和第二连接导线(33-2)分别通过探针转接头(17)与第一气密封玻璃烧结航空插头接口(10-1)和第二气密封玻璃烧结航空插头接口(10-2)位于真空手套箱箱体(1)内的一端连接，所述输入导线(11-1)与第一气密封玻璃烧结航空插头接口(10-1)位于真空手套箱箱体(1)外的另一端连接，所述输出导线(11-2)和第二气密封玻璃烧结航空插头接口(10-2)位于真空手套箱箱体(1)外的另一端连接。

3.按照权利要求1所述的一种用于高频率微尺度声表面波器件测试的装置，其特征在于：所述真空手套箱箱体(1)的一侧面设置有电源插头(13)、抽气阀门(6)和过渡舱(12)，所述过渡舱(12)与真空手套箱箱体(1)连通，所述机械泵(4)通过抽真空管(5)与抽气阀门(6)连接，所述电源插头(13)连接有220V电源。

4.按照权利要求1所述的一种用于高频率微尺度声表面波器件测试的装置，其特征在于：所述矢量网络分析仪(3)为KEYSIGHT公司生产的型号为PNA-X/PNA/PNA-L矢量网络分析仪；

所述矢量网络分析仪(3)上设置有显示屏(25)、电源开关(28)、USB接口(26)和操作按键。

5.按照权利要求1所述的一种用于高频率微尺度声表面波器件测试的装置，其特征在于：所述载物台(18)上设置有滑轨机构，所述滑轨机构包括设置在载物台(18)上且沿载物台(18)宽度方向布设的第一滑轨(35)和设置在第一滑轨(35)上且沿载物台(18)宽度方向移动的第二滑轨(36)，所述卡盘(15)位于第二滑轨(36)上且沿载物台(18)长度方向移动。