[实用新型]一种硅片强度测试工装

权利要求书

1.一种硅片强度测试工装，其特征在于，包括工装壳体(5)、测试台(10)、组合卡杆(14)与滑动卡条(11)，所述滑动卡条(11)活动安装在测试台(10)的上部外表面，且滑动卡条(11)与测试台(10)之间通过对接底板(18)对接固定，所述对接底板(18)的上端外表面固定安装有弹簧顶柱(21)，且对接底板(18)的下部内表面等间距活动安装有四组滚动杆(17)，所述对接底板(18)的上端外表面靠近弹簧顶柱(21)的一侧固定安装有连接套杆(19)，所述测试台(10)的前部外表面活动安装有滑动推扣(1)，所述滑动推扣(1)与连接套杆(19)之间通过旋转撑杆(20)对接固定，所述工装壳体(5)的底部活动安装有测试头(9)，且工装壳体(5)与测试头(9)之间通过组合卡杆(14)对接固定，所述组合卡杆(14)的上部内表面开设有固定横槽(16)，且组合卡杆(14)的上部外表面固定套接有对接垫圈(15)，所述组合卡杆(14)与工装壳体(5)之间通过对接法兰(13)对接固定，所述组合卡杆(14)的前部内表面开设有升降滑槽(12)。

2.根据权利要求1所述的一种硅片强度测试工装,其特征在于，所述测试台(10)的上部外表面靠近滑动卡条(11)的一侧固定安装有固定卡条(4)，且测试台(10)的一侧内表面活动安装有抽拉内盒(3)，所述测试台(10)与抽拉内盒(3)之间通过限位滑槽(2)对接固定。

3.根据权利要求2所述的一种硅片强度测试工装,其特征在于，所述抽拉内盒(3)的两侧外表面均固定安装有限位帽，所述工装壳体(5)的上部外表面活动安装有上翻盖(7)，且工装壳体(5)的上部外表面靠近上翻盖(7)的一侧活动安装有两组固定推扣(6)。

4.根据权利要求1所述的一种硅片强度测试工装,其特征在于，所述测试台(10)的前部开设有若干组通风槽，所述工装壳体(5)的一侧外表面活动安装有下压把手(8)，所述下压把手(8)的上部外表面固定套接有防滑套，所述对接法兰(13)的上部内表面贯穿开设有固定圆槽。

5.根据权利要求1所述的一种硅片强度测试工装,其特征在于，所述旋转撑杆(20)的外表面固定安装有两组顶杆，且旋转撑杆(20)的一端外表面开设有固定螺纹，所述工装壳体(5)的另一侧外表面固定安装有伸缩套把。

6.根据权利要求1所述的一种硅片强度测试工装,其特征在于，所述滑动推扣(1)与固定推扣(6)的外表面均开设有防滑底纹，且滑动推扣(1)与固定推扣(6)的固定方式均为卡扣固定。

7.根据权利要求1所述的一种硅片强度测试工装,其特征在于，所述滚动杆(17)的两端内表面均固定安装有转动轴，且滚动杆(17)的外表面固定套接有条纹套管。