[实用新型]一种复合材料晶片制作高效控温真空排气泡装置有效
| 申请号： | 201920176075.3 | 申请日： | 2019-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN209374487U | 公开（公告）日： | 2019-09-10 |
| 发明（设计）人： | 贾鑫;周学农;刘东旭 | 申请（专利权）人： | 平拓（上海）新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/37 | 分类号： | H01L41/37;B29C39/22;B29K63/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201800 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空腔体 真空腔 温度传感器插座 有机玻璃盖板 传感器线缆 排气泡装置 真空泵气嘴 晶片制作 橡胶垫圈 复合材料 加热台 真空泵 控温 本实用新型 温度传感器 顶端安装 阀门安装 晶片材料 抽真空 控制箱 气压表 体内部 右侧壁 左侧壁 敞口 加热 气管 | ||
1.一种复合材料晶片制作高效控温真空排气泡装置，其特征在于:结构包括：真空泵、真空腔体、密封圈、有机玻璃盖板、真空度气压表、气管、阀门、加热台控制台，所述的真空腔体是采用铸铁材质铸造而成，真空腔体上面敞口，所述的真空腔体的顶端安装橡胶垫圈，有机玻璃盖板安装在真空腔体上，橡胶垫圈设置在真空腔体和有机玻璃盖板之间，抽真空后有机玻璃盖板会压缩橡胶弹性密封圈，从而起到密封效果，真空腔体的右侧壁上安装真空腔体气嘴，阀门安装在真空腔体气嘴上，真空腔体的左侧壁上安装真空度气压表，所述的真空腔体气嘴通过气管与真空泵气嘴连接，真空泵气嘴安装在真空泵上，真空泵上安装开关，所述的真空腔体内部安装加热台，抽真空晶片材料安装在加热台上，加热台通过传感器线缆与温度传感器连接，传感器线缆插入温度传感器插座上，所述的温度传感器插座安装在的控制箱上，所述的控制箱上设置温度显示屏和实际温度显示屏。
2.根据权利要求1所述的一种复合材料晶片制作高效控温真空排气泡装置，其特征在于：所述的真空腔体的是腔体直径300mm，高度400mm腔体。
3.根据权利要求1所述的一种复合材料晶片制作高效控温真空排气泡装置，其特征在于：所述的把手通过螺钉安装在有机玻璃盖板上。
4.根据权利要求1所述的一种复合材料晶片制作高效控温真空排气泡装置，其特征在于：所述的有机玻璃盖板是一种用有机玻璃制作而成的透明盖板。
5.根据权利要求1所述的一种复合材料晶片制作高效控温真空排气泡装置，其特征在于：所述的气管是一种用橡胶制成的橡胶管。
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