[实用新型]一种半导体生产加工用摇摆式清洗装置

说明书

本实用新型公开了一种半导体生产加工用摇摆式清洗装置，包括固定支架、清洗篮、电机和定位管，所述固定支架的外侧通过转轴设置于箱体内，且固定支架的内侧开设有定位槽，所述清洗篮底部的外侧均固定有定位块，且清洗篮通过定位块设置于固定支架内，所述电机安装于箱体的外壁上，且电机的输出轴与转轴之间通过异形齿轮和齿轮轴相互连接，所述定位管贯穿安装于箱体的内部，且定位管顶部中心处固定有防护架，所述叶轮的底部通过锥齿与转杆相互连接，且转杆设置于定位管的内部。该半导体生产加工用摇摆式清洗装置，进行半导体清洗过程中的持续摇摆动作，提高半导体的清洗效果，加快半导体清洗的工作效率，减少脏污残留。

技术领域

本实用新型涉及半导体生产技术领域，具体为一种半导体生产加工用摇摆式清洗装置。

背景技术

半导体生产加工清洗装置是在半导体进行生产加工时，对其表面油污进行清洗处理的设备，在清洗时在装置内加入特制的离子液体，达到半导体表面脏污清洗的工作进行。

然而现有的半导体在清洗时，装置内部设置恒定，容易造成半导体表面清洗时脏污残留，降低清洗的工作效率，需要多次重复清洗。针对上述问题，急需在原有半导体生产加工清洗装置的基础上进行创新设计。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体生产加工用摇摆式清洗装置，以解决上述背景技术提出现有的半导体在清洗时，装置内部设置恒定，容易造成半导体表面清洗时脏污残留，降低清洗的工作效率，需要多次重复清洗的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体生产加工用摇摆式清洗装置，包括固定支架、清洗篮、电机和定位管，所述固定支架的外侧通过转轴设置于箱体内，且固定支架的内侧开设有定位槽，并且固定支架的底部安装有定位磁片，所述清洗篮底部的外侧均固定有定位块，且清洗篮通过定位块设置于固定支架内，所述电机安装于箱体的外壁上，且电机的输出轴与转轴之间通过异形齿轮和齿轮轴相互连接，并且异形齿轮和齿轮轴的边侧设置有锯齿带，而且锯齿带与电机的输出轴和转轴的连接处分别设置有单齿齿轮和全齿轮，所述定位管贯穿安装于箱体的内部，且定位管顶部中心处固定有防护架，并且防护架内安装有叶轮，所述叶轮的底部通过锥齿与转杆相互连接，且转杆设置于定位管的内部，并且转杆的端部通过履带与电机的输出轴相互连接。

优选的，所述固定支架设置为倒置的“n”字型结构，且固定支架和清洗篮构成相互卡合的拆卸安装结构，并且固定支架和箱体构成相对转动结构。

优选的，所述定位磁片在固定支架的底部对称设置，且定位磁片的顶部设置为内凹状结构，并且定位磁片和定位块卡合吸附连接。

优选的，所述异形齿轮上的锯齿分布长度为异形齿轮总周长的1/8，且异形齿轮与齿轮轴之间啮合连接。

优选的，所述单齿齿轮与锯齿带之间啮合连接，且单齿齿轮和异形齿轮同轴设置，并且单齿齿轮的单齿与异形齿轮的锯齿边侧相对设置。

优选的，所述定位管和转杆同轴设置，且转杆和定位管构成相对旋转结构，并且定位管和叶轮相对旋转设置。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该半导体生产加工用摇摆式清洗装置，进行半导体清洗过程中的持续摇摆动作，提高半导体的清洗效果，加快半导体清洗的工作效率，减少脏污残留；

1、只需要通过固定支架的结构作用下，方便清洗篮整体的拆卸安装操作，在摇摆清洗时不会发生清洗篮的晃动脱落问题，使得半导体的清洗工作进行更加的快捷；

2、在电机的持续转动的过程中，能够带着固定支架和清洗篮进行持续的摇摆清洗，提高清洗的工作效率，同时在摇摆清洗时，能够带着叶轮工作旋转，对清洗液进行搅动，加快清洗。

附图说明

图1为本实用新型正面结构示意图；

图2为本实用新型固定支架结构示意图；