[实用新型]一种水性蚀刻光阻剂用储存罐

说明书

本实用新型涉及光阻剂储存设备技术领域，且公开了一种水性蚀刻光阻剂用储存罐，包括顶端开口的罐体，罐体的内壁顶端螺纹连接有罐盖，罐盖的顶部固定连接有电机，电机的输出轴末端通过联轴器固定套接有连接杆，连接杆的底端贯穿罐盖并延伸至罐体的内部，连接杆的底部通过连接机构固定连接有转杆，转杆的侧壁固定连接有两个对称设置的横杆，两个横杆相远离的侧壁均固定连接有连接板，两个连接板相远离的侧壁均固定连接有毛刷，罐体的外侧壁开设有两个安装槽，两个安装槽的内部均固定连接有电热丝，罐体的底部固定连通有出料管，出料管上固定连通有第一阀门。本实用新型能够比较省力地完成对罐体内壁的清洗。

技术领域

本实用新型涉及光阻剂储存设备技术领域，尤其涉及一种水性蚀刻光阻剂用储存罐。

背景技术

光阻剂是一个用在许多工业制程上的光敏材料，如光刻技术，可以在材料表面刻上一个图案的被覆层，光阻剂的储存罐需要定期清理，现有技术中，一般通过人工将热水加入储存罐的内部，且人工借助外部工具对储存罐的内壁进行清洗，这种方式操作麻烦，且比较费力。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中人工对光阻剂储存罐的内壁进行清洗的方式操作麻烦，且比较费力的问题，而提出的一种水性蚀刻光阻剂用储存罐。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种水性蚀刻光阻剂用储存罐，包括顶端开口的罐体，所述罐体的内壁顶端螺纹连接有罐盖，所述罐盖的顶部固定连接有电机，所述电机的输出轴末端通过联轴器固定套接有连接杆，所述连接杆的底端贯穿罐盖并延伸至罐体的内部，所述连接杆的底部通过连接机构固定连接有转杆，所述转杆的侧壁固定连接有两个对称设置的横杆，两个所述横杆相远离的侧壁均固定连接有连接板，两个所述连接板相远离的侧壁均固定连接有毛刷，所述罐体的外侧壁开设有两个安装槽，两个所述安装槽的内部均固定连接有电热丝，所述罐体的底部固定连通有出料管，所述出料管上固定连通有第一阀门，所述转杆的底端固定连接有两个对称设置的搅拌板，所述罐体的一侧设置有用于进水的进水机构，所述罐体的底部设置有用于固定所述罐体的固定机构。

优选的，所述连接机构包括固定块，所述固定块的顶部与连接杆的底部固定连接，所述固定块的底部开设有方槽，所述方槽的内部插接有连接块，所述连接块两个相对的侧壁均开设有弧形槽，所述固定块两个相对的侧壁均开设有与方槽相连通的通槽，所述通槽的内顶部和内底部均设为弧形面，所述通槽的内部设置有球形的卡块，所述固定块上滑动套接有限位筒，所述固定块两个相对的侧壁均开设有凹槽，两个所述凹槽的内部均滑动连接有固定板，两个所述固定板相远离的侧壁均与限位筒的内壁固定连接，所述固定板的顶部与凹槽的内顶部之间共同固定连接有弹簧，两个所述卡块相远离的侧壁均与限位筒的内壁相抵，且两个卡块相靠近的侧壁均与弧形槽的内壁相抵。

优选的，所述进水机构包括水泵，所述水泵的出水端固定连通有出水管，所述出水管远离水泵的一端与罐体的侧壁顶端固定连通，所述出水管上固定连通有第二阀门，所述水泵的进水端固定连通有进水管。

优选的，所述固定机构包括两个对称设置的支撑块，两个所述支撑块的顶部均与罐体的底部固定连接，两个所述支撑块的底部均固定连接有安装板，所述安装板上开设有多个均匀分布的安装孔，多个所述安装孔的内部均设置有螺栓。

优选的，所述罐体的内底部设为第一斜面，两个所述搅拌板的底部均设为与第一斜面相匹配的第二斜面。

优选的，所述罐盖的顶部固定连接有两个对称设置的把手。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种水性蚀刻光阻剂用储存罐，具备以下有益效果：