[实用新型]小电阻元件电阻温度系数的测试装置

说明书

本实用新型公开了一种小电阻元件电阻温度系数的测试装置，包括如下部件：导热块(3)；加热片(4)；制冷装置(2)；电阻采集装置(5)；电阻测试板(10)；温度控制装置(6)；显示屏(8)。

技术领域

本实用新型属于测试技术领域，特别涉及一种小电阻元件电阻温度系数的测试装置。

背景技术

随着设备的更新和工艺技术的进步，混合集成电路的小电阻元件越来越多，为了保证混合集成电路正常工作，不仅要求小电阻元件的电阻精度高，而且要求小电阻元件电阻的温度系数恒定在某一适合值。通过电阻温度系数的测量和计算，用于其对发热性能进行研究和优化电阻浆料。电阻温度系数的测量和计算方法如下：TCR(平均)＝(R₂-R₁)/(R₁*(T₂-T₁))＝(R₂-R₁)/(R₁*ΔT)，其中，TCR为电阻温度系数，T₁为初始温度值，T₂为预设高温的温度值，R₁为初始温度下的电阻值，R₂为升温至预设高温下的电阻值。即可得到对应小电阻元件的平均TCR值。在科研生产领域的工作中，每天都有大量的小电阻元件需测定电阻的温度系数，较多电路要求标出电阻的温度系数的精确值，因此需要开发出准确测定电阻温度系数的装置。

中芯国际集成电路制造(上海)有限公司公布号为CN101329295B的专利公开了电阻温度系数测量方法，该专利采用热盘加热到设定点温度测量电阻，并建立电阻与电流的对应关系，然后确定电流与温度的关系，最终在数据库中根据相关公式计算出TCR值，但是该专利忽略了测量电阻时应在设定温度恒温一段时间测量静态电阻值，边通电加热边实时采集电阻值将会影响测量电阻阻值的准确性，尤其对于小阻值电阻将带来无法忽略的影响。上海华虹宏力半导体制造有限公司公布号为CN102636695B的专利也公开了一种电阻温度系数测量的方法，该专利详细说明了应测量探针自身电阻、探针和探垫的接触电阻的影响，及在实际测试中无法避免因测量端与电阻接触的松紧度影响测量电阻的阻值准确度，但是未公开关于如何测量相应TCR值的方法。

现有技术的电阻温度系数测量存在以下缺点：1、测量过程为人工操作，工序较为复杂，测试时间长，测量精度易受人工操作影响，不能自动采集不同温度对应电阻值，误差较大。2、电阻小于1Ω的电阻温度系数测量较为繁杂，且难以实现实时测量。3、现有技术的电阻温度系数的测量为边通电加热边实时采集电阻值和温度值，电阻和温度的精度有待提高。4、现有技术的电阻温度系数的设备测量端与电阻接触端的松紧度也影响电阻值测量结果的准确性。

为解决上述问题，提出本实用新型。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种小电阻元件电阻温度系数的测试装置，有效解决了测量小电阻元件的电阻温度系数存在的测量工序繁杂、不能自动采集不同温度对应的电阻、带电测量电阻的准确性，以及设备测量端与电阻接触端的松紧度影响电阻温度系数测量结果的准确性等问题。

本实用新型的目的通过以下技术方案予以实现：

本实用新型第一方面公开了一种小电阻元件电阻温度系数的测试装置，所述小电阻元件为用于集成电路中的元件；所述测试装置包括如下部件：

--导热块3，大致为立方体状，其内布置有温度检测装置7，其一侧面开有若干测试槽9；

--加热片4，贴合布置在所述导热块3下端面；

--制冷装置2，布置在所述导热块3上面；

--电阻采集装置5；

--电阻测试板10，其上有测试通孔1002，通过连接线1001与所述电阻采集装置5电连接；