[实用新型]有效去带电粒子污染的腔镜保护装置、激光器

说明书

本实用新型公开了一种有效去带电粒子污染的腔镜保护装置、激光器，所述的一种有效去带电粒子污染的腔镜保护装置，包括两个平行同轴设置且中心分别形成有中心孔的端面挡板，两个上下相对设置且与所述的端面挡板内侧固定连接的外侧板，两个左右设置并分别与所述的外侧板保持绝缘地固定连接的电极板，以及与所述的电极板电连接的直流电源，其中，所述的电极板和外侧板围合成与所述的中心孔对应的激光通道。本实用新型装置通过金属极板接电，在通光孔内部形成电场，偏转收集带电粒子，由此减少粒子对腔镜镜面的损害与污染，保证光传输质量。

技术领域

本实用新型属于激光设备技术领域，具体涉及一种有效去带电粒子污染的腔镜保护装置、激光器。

背景技术

现有实验工况下，主真空室产生的带电粒子由于溅射或漏电势的作用，会通过连接通道运动到光腔室，污染反射镜镜面，导致镜片面型变差、反射率下降，光束质量恶化，对整体试验运行影响极大。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种有效去带电粒子污染的腔镜保护装置，实现镜面保护功能，延长镜片寿命，保障试验的长时间、高质量运行。

本实用新型是通过以下技术方案实现的：

一种有效去带电粒子污染的腔镜保护装置，包括两个平行同轴设置且中心分别形成有中心孔的端面挡板，两个上下相对设置且与所述的端面挡板内侧固定连接的外侧板，两个左右设置并分别与所述的外侧板保持绝缘地固定连接的电极板，以及与所述的电极板电连接的直流电源，其中，所述的电极板和外侧板围合成与所述的中心孔对应的激光通道。

在上述技术方案中，所述的外侧板包括中间板，两个分别于所述的中间板两侧相对其垂直向内翻折并延伸的侧挡板以及对应相对所述的侧挡板垂直向外翻折并延伸的侧翼板，两外侧板的侧翼板保持间距。

在上述技术方案中，所述的外侧边两端对应形成有翻边以与所述的端面挡板通过螺栓固定连接；所述的电极板通过绝缘陶瓷座与所述的外侧板的侧翼板固定连接。

在上述技术方案中，端面挡板、电极板与外侧板均由不锈钢钢板制成，所述的绝缘陶瓷座为99％氧化铝陶瓷制成。

在上述技术方案中，其中一个电极板接所述的直流电源的正极，另一电极板接地。

在上述技术方案中，其中一个电极板接所述的直流电源的负极，另一电极板接地或悬空。

在上述技术方案中，于所述的电极板外侧设置有将所述的绝缘陶瓷座遮护其内的防护板，所述的防护板与所述的外侧板固定连接并与电极板绝缘。

在上述技术方案中，所述的激光通道长800-2000mm，截面为50-100mm*150-200mm。

在上述技术方案中，所述的端面挡板外侧构造有与其垂直的定位板，在所述的定位板上分别设置有至少一个横向延伸的顶持定位螺栓。

一种激光器，其特征在于，包括腔镜和由矩形管道构成的光腔通道，在所述的光腔通道内同轴向设置有所述的腔镜保护装置，所述的定位顶持螺栓与所述的矩形管道的内壁相顶持固定。

在上述技术方案中，在所述的光腔通道内或者前端设置有热阴极灯丝。

一种激光器的控制方法，激光发生器工作时，热阴极灯丝启动，对电极板进行通电，热阴极灯丝工作中释放电子，部分电子与中性大颗粒污染物相结合，电子及与中性大颗粒污染物结合的电子均被电极板偏转以避免轰击腔镜。

本实用新型的优点和有益效果为：

本实用新型装置通过金属极板接电，在通光孔内部形成电场，偏转收集带电粒子，由此减少粒子对腔镜镜面的损害与污染，保证光传输质量。